化学气相沉积设备尾气过滤系统的研究与分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 概述 | 第8-10页 |
| 1.2 尾气系统 | 第10-12页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.4 研究内容和论文安排 | 第16-18页 |
| 2 计算流体动力学基本理论 | 第18-30页 |
| 2.1 流体基本特性 | 第18页 |
| 2.2 流体动力学基本方程 | 第18-22页 |
| 2.3 湍流数值模拟 | 第22-25页 |
| 2.4 多孔介质模型 | 第25-27页 |
| 2.5 CFD数值计算 | 第27-30页 |
| 3 平板式褶状滤芯仿真研究及分析 | 第30-48页 |
| 3.1 滤纸数值计算模型建立 | 第30-32页 |
| 3.2 滤芯数值计算模型建立 | 第32-36页 |
| 3.3 计算结果与分析 | 第36-48页 |
| 4 圆柱式褶状滤芯仿真研究及分析 | 第48-58页 |
| 4.1 滤芯数值计算模型建立 | 第48-50页 |
| 4.2 计算结果与分析 | 第50-58页 |
| 5 颗粒过滤器结构模拟及优化设计 | 第58-66页 |
| 5.1 颗粒过滤器外壳流场模拟 | 第58-61页 |
| 5.2 颗粒过滤器外壳结构优化设计 | 第61-66页 |
| 6 总结和展望 | 第66-69页 |
| 6.1 本文总结 | 第66-67页 |
| 6.2 展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 附录1攻读硕士学位期间发表的论文 | 第73页 |
