砂轮划片机关键部件对其精度的影响
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题的研究目的与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 晶圆加工技术国内外发展历程和研究现状 | 第12-19页 |
| 1.2.1 砂轮划切技术 | 第12-14页 |
| 1.2.2 激光划切技术 | 第14-16页 |
| 1.2.3 水射流划切技术 | 第16-18页 |
| 1.2.4 水导激光划切技术 | 第18-19页 |
| 1.3 砂轮划片机精度的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.4 常见精度问题总结 | 第20-21页 |
| 1.5 研究思路 | 第21-22页 |
| 1.6 课题主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 砂轮划片机平台的搭建 | 第23-32页 |
| 2.1 划片机主要部件及标准件选型 | 第23-24页 |
| 2.2 研究平台的搭建 | 第24-30页 |
| 2.2.1 X轴系统 | 第27页 |
| 2.2.2 Y轴系统 | 第27-28页 |
| 2.2.3 Z轴系统 | 第28-29页 |
| 2.2.4 悬臂主轴结构 | 第29-30页 |
| 2.2.5 转角系统 | 第30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 导轨磨损对划片机精度的影响 | 第32-49页 |
| 3.1 导轨简介 | 第32-33页 |
| 3.1.1 导轨的分类 | 第32-33页 |
| 3.1.2 导轨的基本要求 | 第33页 |
| 3.1.3 导轨的磨损 | 第33页 |
| 3.2 磨损的分类 | 第33-35页 |
| 3.2.1 黏着磨损 | 第34页 |
| 3.2.2 磨料磨损 | 第34-35页 |
| 3.2.3 表面疲劳磨损 | 第35页 |
| 3.3 黏着磨损的机理 | 第35-38页 |
| 3.3.1 黏着磨损的规律 | 第35-36页 |
| 3.3.2 黏着磨损的分类 | 第36-37页 |
| 3.3.3 黏着磨损的表达 | 第37-38页 |
| 3.4 磨损模型的建立 | 第38-42页 |
| 3.4.1 平移运动特征矩阵 | 第38-39页 |
| 3.4.2 旋转运动特征矩阵 | 第39-40页 |
| 3.4.3 模型建立 | 第40-42页 |
| 3.5 气浮主轴的振动测试实验 | 第42-45页 |
| 3.5.1 具体实验方案 | 第42-43页 |
| 3.5.2 测试结果分析 | 第43-45页 |
| 3.6 X轴系统导轨磨损的计算 | 第45-48页 |
| 3.7 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 悬臂结构有限元模型的建立 | 第49-61页 |
| 4.1 有限元模型的建立 | 第49-55页 |
| 4.1.1 几何模型的建立 | 第49-52页 |
| 4.1.2 力学模型的建立 | 第52页 |
| 4.1.3 约束模型的建立 | 第52-55页 |
| 4.2 螺栓预紧力的确定与施加 | 第55-56页 |
| 4.3 考虑结构非线性 | 第56-57页 |
| 4.4 分析步骤 | 第57-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 悬臂结构中螺栓连接对精度的影响 | 第61-78页 |
| 5.1 预紧力对悬臂结构精度的影响 | 第61-70页 |
| 5.1.1 预紧力为4200N时的分析结果 | 第62-64页 |
| 5.1.2 预紧力为6750N时的分析结果 | 第64-65页 |
| 5.1.3 预紧力为9000N时的分析结果 | 第65-67页 |
| 5.1.4 预紧力为13200N时的分析结果 | 第67-70页 |
| 5.1.5 结论 | 第70页 |
| 5.2 螺栓直径对悬臂结构的影响 | 第70-78页 |
| 5.2.1 采用8.8级M8螺栓时的分析结果 | 第71-73页 |
| 5.2.2 采用8.8级M10螺栓时的分析结果 | 第73-74页 |
| 5.2.3 采用8.8级M12螺栓时的分析结果 | 第74-77页 |
| 5.2.4 结论 | 第77-78页 |
| 第6章 提高砂轮划片机精度的建议 | 第78-84页 |
| 6.1 采取相应的防松措施 | 第78页 |
| 6.2 模型防松后的有限元分析 | 第78-80页 |
| 6.3 主要部件结构的改进 | 第80-83页 |
| 6.4 本章小结 | 第83-84页 |
| 第7章 结论与展望 | 第84-86页 |
| 7.1 结论 | 第84页 |
| 7.2 展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 附录A | 第90-102页 |
| 附录B | 第102-103页 |
| 致谢 | 第103页 |
