| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-11页 |
| ·本文的主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 静电梳齿驱动MEMS 光开关结构及工作原理 | 第13-19页 |
| ·MEMS 光开关概述 | 第13-16页 |
| ·二维MEMS 光开关 | 第14页 |
| ·三维MEMS 光开关 | 第14-15页 |
| ·一维MEMS 光开关 | 第15-16页 |
| ·静电梳齿驱动的结构与原理 | 第16-18页 |
| ·静电梳齿驱动器的结构 | 第16-17页 |
| ·静电梳齿驱动器的工作原理 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 双层静电梳齿光开关模型的建立和分析 | 第19-37页 |
| ·静电梳齿驱动机电动力学模型的确立 | 第20-27页 |
| ·拉格朗日-麦克斯韦方程 | 第20页 |
| ·电路方程式 | 第20-22页 |
| ·有质动力 | 第22-24页 |
| ·拉格朗日-麦克斯韦方程 | 第24-27页 |
| ·双层静电梳齿结构参数的分析及确立 | 第27-34页 |
| ·系统弹性系数k 的确立 | 第27-29页 |
| ·在边缘效应影响下系统总电容C 的确定 | 第29-32页 |
| ·运动梁质量块M 的确定 | 第32页 |
| ·阻尼系数?的确定 | 第32-34页 |
| ·双层静电梳齿结构动力学仿真与分析 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 双层梳齿光开关结构分析与改进 | 第37-49页 |
| ·双层梳齿结构光开关阻尼分析 | 第37-43页 |
| ·电容负反馈对MEMS 光开关性能的影响 | 第43-48页 |
| ·电容负反馈结构的设计 | 第44-45页 |
| ·电容负反馈结构仿真与分析 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 MEMS 光开关结构分析与优化 | 第49-59页 |
| ·结构尺寸参数对光开关性能的影响 | 第49-54页 |
| ·固端梁尺寸结构的分析 | 第49-52页 |
| ·双层梳齿结构齿间距的分析 | 第52-54页 |
| ·双层梳齿结构尺寸参数优化 | 第54-58页 |
| ·目标函数 | 第54页 |
| ·约束条件 | 第54-55页 |
| ·遗传算法 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·论文工作主要内容 | 第59页 |
| ·工作展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |