| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·课题研究背景和选题意义 | 第10-11页 |
| ·MEMS-IMU 概述和误差研究现状 | 第11-16页 |
| ·MEMS-IMU 概述 | 第11-14页 |
| ·MEMS-IMU 误差研究现状 | 第14-16页 |
| ·微加速度计概述和误差研究现状 | 第16-19页 |
| ·微加速度计概述 | 第16页 |
| ·微加速度计误差研究现状 | 第16-19页 |
| ·微陀螺概述和误差研究现状 | 第19-22页 |
| ·微陀螺概述 | 第19-20页 |
| ·微陀螺误差研究现状 | 第20-22页 |
| ·本文的研究目和研究内容 | 第22-24页 |
| ·研究目的 | 第22页 |
| ·研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 MEMS-IMU 原理与误差分析 | 第24-38页 |
| ·MEMS-IMU 工作原理与设计 | 第24-28页 |
| ·支撑结构设计与仿真 | 第26-27页 |
| ·基于 FPGA 的控制电路设计 | 第27-28页 |
| ·MEMS-IMU 误差分析 | 第28-37页 |
| ·MEMS-IMU 应用条件 | 第29-30页 |
| ·MEMS 惯性传感器误差分析与测试 | 第30-33页 |
| ·MEMS-IMU 集成误差分析与测试 | 第33-35页 |
| ·MEMS-IMU 在应用条件下的误差评估 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 基于统计参数法的 MEMS 惯性传感器误差分析 | 第38-78页 |
| ·微结构误差统计参数法 | 第38-51页 |
| ·体硅工艺过程产生的微结构误差分析 | 第38-42页 |
| ·基于体硅工艺的微结构尺寸误差模型 | 第42-47页 |
| ·微结构误差统计参数法 | 第47-51页 |
| ·电容式梳齿微加速度计误差机理分析 | 第51-62页 |
| ·原理与制造工艺 | 第51-55页 |
| ·温度变化产生的误差 | 第55-56页 |
| ·误差作用机理研究 | 第56-62页 |
| ·电容式梳齿线振动微陀螺误差机理分析 | 第62-75页 |
| ·原理与制造工艺 | 第62-67页 |
| ·误差源分析 | 第67-71页 |
| ·误差作用机理研究 | 第71-75页 |
| ·本章小结 | 第75-78页 |
| 第4章 MEMS 传感器误差有限元建模仿真与测试 | 第78-108页 |
| ·MEMS 惯性传感器有限元建模与仿真方法 | 第78-79页 |
| ·微加速度计建模仿真与测试 | 第79-96页 |
| ·微加速度计表芯建模 | 第79-82页 |
| ·温度漂移有限元仿真 | 第82-84页 |
| ·微加速度计启动漂移建模 | 第84-86页 |
| ·启动漂移有限元仿真 | 第86-87页 |
| ·微加速度计测试 | 第87-96页 |
| ·微陀螺建模仿真与测试 | 第96-106页 |
| ·微陀螺表芯建模 | 第96-97页 |
| ·微陀螺有限元仿真 | 第97-104页 |
| ·微陀螺测试 | 第104-106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 第5章 MEMS-IMU 实验研究 | 第108-140页 |
| ·MEMS-IMU 误差建模 | 第108-110页 |
| ·MEMS-IMU 整机标定补偿方法 | 第110-122页 |
| ·MEMS-IMU 整体标定方法 | 第110-122页 |
| ·MEMS-IMU 补偿方法 | 第122页 |
| ·MEMS-IMU 定位解算算法 | 第122-127页 |
| ·磁场组合横滚角速率测量方法 | 第127-131页 |
| ·飞行实验研究 | 第131-138页 |
| ·温度补偿效果 | 第132-133页 |
| ·加速度灵敏度误差分析 | 第133-135页 |
| ·磁场组合姿态解算效果 | 第135-138页 |
| ·本章小结 | 第138-140页 |
| 第6章 结论 | 第140-142页 |
| ·论文主要研究工作 | 第140-141页 |
| ·论文主要创新点 | 第141-142页 |
| 参考文献 | 第142-149页 |
| 致谢 | 第149-151页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第151-152页 |