| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·MEMS技术概述 | 第8-10页 |
| ·MEMS微执行器 | 第10-12页 |
| ·磁微执行器 | 第12-16页 |
| ·载流弯曲结构磁驱动微执行器 | 第13-14页 |
| ·多晶硅悬臂梁弯曲结构磁驱动微执行器 | 第14页 |
| ·滑动永磁体线性微马达 | 第14-15页 |
| ·多级弯曲磁微执行器 | 第15-16页 |
| ·与本论文相关的研究进展 | 第16-17页 |
| ·本论文主要内容及创新点 | 第17-19页 |
| 第二章 磁驱动微执行器PULL-IN现象的有限元分析流程 | 第19-25页 |
| ·有限元方法介绍 | 第19-20页 |
| ·ANSYS简介 | 第20-22页 |
| ·磁-结构耦合流程 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 考虑漏磁效应的活动极板相对固定极板垂直运动的磁微执行器PULL-IN参数模型 | 第25-45页 |
| ·模型结构和工作原理 | 第25-27页 |
| ·忽略漏磁效应的Pull-in参数模型 | 第27-32页 |
| ·力法求解 | 第27-29页 |
| ·能量法求解 | 第29-32页 |
| ·考虑漏磁效应的Pull-in参数模型 | 第32-33页 |
| ·模型验证 | 第33-38页 |
| ·器件结构参数对静态Pull-in参数的影响 | 第38-44页 |
| ·上下极板初始间距对 Pull-in参数的影响 | 第38-40页 |
| ·极板宽度对Pull-in参数的影响 | 第40-42页 |
| ·磁极长度对Pull-in参数的影响 | 第42-43页 |
| ·弹性系数对Pull-in参数的影响 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 考虑漏磁效应的多级弯曲磁微执行器静态PULL-IN参数模型 | 第45-63页 |
| ·模型结构和工作原理 | 第45-47页 |
| ·忽略虑漏磁效应的Pull-in参数模型 | 第47-49页 |
| ·考虑漏磁效应的pull-in参数模型 | 第49-51页 |
| ·模型验证 | 第51-56页 |
| ·结构参数对静态Pull-in参数的影响 | 第56-62页 |
| ·悬臂梁宽度对Pull-in参数的影响 | 第56-58页 |
| ·上下极板重叠长度对Pull-in参数的影响 | 第58-60页 |
| ·上下极板间距对Pull-in参数的影响 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结和展望 | 第63-65页 |
| ·工作总结 | 第63-64页 |
| ·工作展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 作者在攻读硕士研究生期间发表的论文 | 第70页 |
