摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-7页 |
第一章 绪论 | 第7-11页 |
·背景 | 第7-8页 |
·微开关的发展 | 第8-10页 |
·完成的工作 | 第10-11页 |
第二章 水银加速度开关原理 | 第11-15页 |
·引言 | 第11页 |
·水银加速度开关原理 | 第11-13页 |
·结构组成 | 第11-12页 |
·工作原理 | 第12-13页 |
·可行性分析 | 第13页 |
·微尺度效应对微流体的影响 | 第13-15页 |
第三章 理论基础 | 第15-37页 |
·流体力学基本知识 | 第15-22页 |
·流体的性质 | 第15-17页 |
·流体上的作用力 | 第17-19页 |
·表面张力成因 | 第19-20页 |
·接触角 | 第20-21页 |
·表面张力系数 | 第21-22页 |
·表面张力系数的测量方法 | 第22-27页 |
·毛细上升法 | 第22-23页 |
·最大气泡压力法 | 第23-24页 |
·吊环法 | 第24页 |
·滴重法 | 第24-25页 |
·表面波法 | 第25-27页 |
·接触角的测量 | 第27-31页 |
·躺滴和悬泡接触角直接测量法 | 第27-28页 |
·WiIhelmy吊片法 | 第28-29页 |
·竖板毛细升高法 | 第29-30页 |
·液滴外形分析法 | 第30-31页 |
·YONG和LAPLACE公式 | 第31-34页 |
·毛细现象 | 第31-32页 |
·附加压强的产生 | 第32-33页 |
·毛细现象基本公式 | 第33-34页 |
·流体力学基本公式 | 第34-37页 |
·重力场中不可压缩性流体的平衡 | 第34-35页 |
·连续性方程 | 第35页 |
·不可压缩、粘性流体的Navier-Stokes方程 | 第35-37页 |
第四章 基于流体力学的基本公式推导 | 第37-51页 |
·静力学公式 | 第37-41页 |
·静力学模型 | 第37-38页 |
·水银微通道内的静力学方程 | 第38-41页 |
·微通道内的运动学分析 | 第41-45页 |
·水银通道内运动方程建模 | 第41-42页 |
·水银微通道内运动方程推导 | 第42-45页 |
·管道的压力损失分析 | 第45-51页 |
·圆管中的压力损失分析 | 第45-46页 |
·流体受到瞬间加速度后的增压 | 第46-47页 |
·变截面管中的附加压力分析 | 第47-51页 |
第五章 材料和工艺 | 第51-57页 |
·微加工工艺简介 | 第51-55页 |
·LIGA技术 | 第51-52页 |
·准LIGA技术 | 第52-54页 |
·硅基微机械加工技术 | 第54-55页 |
·沉积薄膜材料的简介 | 第55-56页 |
·本文拟采用的工艺和材料 | 第56-57页 |
第六章 总结 | 第57-59页 |
致谢 | 第59-61页 |
参考文献 | 第61-64页 |