基于双稳态的MEMS微开关设计

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第一章 绪论	第7-17页
·MEMS简介	第7-10页
·MEMS的主要特点	第8页
·MEMS存在问题	第8-9页
·MEMS加工技术	第9-10页
·双稳态结构及加速度开关研究现状	第10-13页
·双稳态结构	第10-11页
·加速度开关关键技术研究现状	第11-13页
·论文的主要工作	第13-17页
第二章 双稳态微加速度开关设计及单力分析	第17-33页
·双稳态微加速度开关的物理模型	第17-19页
·双稳态微加速度开关受力分析	第19-32页
·质量块受力情况	第19页
·电场力分析	第19-23页
·弹性力分析	第23-24页
·Casimir力分析	第24-27页
·范德瓦尔斯力分析	第27-30页
·气膜阻尼分析	第30-32页
·本章小结	第32-33页
第三章 双稳态微加速度开关的静态分析和动态分析	第33-49页
·双稳态微加速度开关静态分析	第33-38页
·硅基微开关静态分析	第33-36页
·铜基微开关静态分析	第36-38页
·双稳态微加速度开关动态分析	第38-46页
·硅基微开关动态分析	第38-43页
·铜基微开关动态分析	第43-46页
·本章小结	第46-49页
第四章 隧道电流分析及造型设计	第49-53页
·隧道电流	第49-50页
·造型设计	第50-52页
·铜基微开关样件	第52页
·小结	第52-53页
第五章 总结与展望	第53-55页
·工作总结	第53页
·论文的不足及工作展望	第53-55页
致谢	第55-57页
参考文献	第57-61页
读研期间研究成果和参加科研情况	第61-63页
附录	第63-66页