| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 注释表 | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·MEMS系统的结构、特点及其应用 | 第11-13页 |
| ·MEMS系统的结构 | 第11页 |
| ·MEMS系统的特点 | 第11页 |
| ·MEMS系统的应用 | 第11-13页 |
| ·MEMS系统的力学性能研究现状 | 第13-17页 |
| ·MEMS系统的力学性能特点 | 第13-14页 |
| ·MEMS中的尺度效应简介 | 第14-15页 |
| ·MEMS的尺度效应的研究背景 | 第15页 |
| ·应变梯度理论的形成和发展 | 第15-17页 |
| ·MEMS系统的力学性能研究的意义 | 第17页 |
| ·本文的内容安排 | 第17-19页 |
| 2 考虑空气阻力和尺度效应的圆截面细微悬臂梁横向振动动力学模型及解算 | 第19-37页 |
| ·对于空气阻力介绍与探讨 | 第19-22页 |
| ·应变梯度理论 | 第22-25页 |
| ·考虑空气阻力和尺度效应的圆截面细微悬臂梁横向振动动力学模型建立 | 第25-28页 |
| ·考虑空气阻力和尺度效应的圆截面细微悬臂梁横向振动的解算. | 第28-33页 |
| ·动力学方程主振型函数求解 | 第28-30页 |
| ·动力学方程的模态法求解 | 第30-33页 |
| ·考虑空气阻力和尺度效应的圆截面细微悬臂梁横向振动特性分析 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 考虑空气阻力和尺度效应的圆截面细微悬臂杆扭转振动动力学模型及解算 | 第37-45页 |
| ·考虑空气阻力和尺度效应的圆截面细微悬臂杆扭转振动动力学模型的建立 | 第37-40页 |
| ·考虑空气阻力和尺度效应的圆截面细微悬臂杆效应扭转振动的解算 | 第40-42页 |
| ·考虑空气阻力和尺度效应的圆截面细微悬臂杆扭动振动特性的分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 考虑空气阻力和尺度效应的平面悬臂微薄板弯曲振动动力学模型及解算 | 第45-51页 |
| ·考虑空气阻力和尺度效应的平面悬臂微薄板弯曲振动动力学模型的建立 | 第45-47页 |
| ·考虑空气阻力和尺度效应的平面悬臂微薄板弯曲振动的解算 | 第47-49页 |
| ·考虑空气阻力和尺度效应的平面悬臂微薄板弯曲振动特性的分析 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 数值模拟分析 | 第51-59页 |
| ·数值的模拟 | 第51-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 总结与展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
