基于相变控制的微流体流量分配方法研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·背景和意义 | 第10页 |
| ·微阀研究现状 | 第10-17页 |
| ·微流体流量阀研究现状 | 第10-14页 |
| ·微流体相变阀研究现状 | 第14-17页 |
| ·本文主要工作内容 | 第17-18页 |
| 2 相变理论及相变阀结构设计 | 第18-23页 |
| ·过冷度对于水相变的影响 | 第18-21页 |
| ·流量分配相变阀结构设计 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 集成微流控芯片制作 | 第23-28页 |
| ·芯片模具制作 | 第23-25页 |
| ·SU-8胶模具概述 | 第23页 |
| ·模具基底材料的选择 | 第23页 |
| ·仪器和试剂 | 第23-24页 |
| ·模具制作步骤 | 第24-25页 |
| ·微阀芯片制作 | 第25-27页 |
| ·芯片材料选择 | 第25页 |
| ·仪器和试剂 | 第25-26页 |
| ·PDMS芯片制作 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 4 实验方案与集成平台 | 第28-35页 |
| ·制冷方案 | 第28-31页 |
| ·制冷方式选择 | 第28页 |
| ·半导体制冷原理 | 第28-29页 |
| ·三级制冷系统 | 第29-30页 |
| ·制冷位置选择 | 第30-31页 |
| ·观测方案 | 第31页 |
| ·集成平台 | 第31-33页 |
| ·集成平台材料选择 | 第32页 |
| ·平台设计 | 第32-33页 |
| ·整体实验方案 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 5 微尺度相变测试实验 | 第35-45页 |
| ·实验装置及仪器试剂 | 第35页 |
| ·过冷度对流体相变的影响 | 第35-37页 |
| ·流量分配阀的分配效果 | 第37-41页 |
| ·流量分配阀三种工作模式 | 第37页 |
| ·分配效果测量 | 第37-41页 |
| ·储冰池效果验证实验 | 第41-44页 |
| ·无储冰池微阀测试实验 | 第41-42页 |
| ·有储冰池微阀测试实验 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
