| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| ·课题背景 | 第9页 |
| ·国内外发展现状 | 第9-11页 |
| ·课题研究目的与意义 | 第11-12页 |
| ·本文主要内容 | 第12页 |
| ·本章小结 | 第12-13页 |
| 2 MEMS 陀螺输出信号检测技术 | 第13-19页 |
| ·MEMS 陀螺原理 | 第13-15页 |
| ·哥氏（Coriolis）效应 | 第13页 |
| ·梳状振动式MEMS 陀螺工作原理 | 第13-15页 |
| ·MEMS 陀螺输出信号的检测方法 | 第15-17页 |
| ·电容检测 | 第15页 |
| ·压电检测 | 第15-16页 |
| ·压阻检测 | 第16页 |
| ·隧道效应检测 | 第16-17页 |
| ·光学方法检测 | 第17页 |
| ·本章小结 | 第17-19页 |
| 3 光干涉相位检测技术 | 第19-27页 |
| ·光干涉原理 | 第19页 |
| ·全光纤干涉技术 | 第19-21页 |
| ·光纤干涉信号调制方法 | 第21-24页 |
| ·光纤干涉信号解调方法 | 第24-26页 |
| ·零差解调法 | 第25页 |
| ·外差解调法 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 4 基于光学干涉技术的 MEMS 陀螺信号读出系统 | 第27-51页 |
| ·系统整体架构 | 第27-28页 |
| ·光路分析 | 第28-29页 |
| ·MEMS 陀螺光学干涉检测原理 | 第29页 |
| ·元器件选型 | 第29-37页 |
| ·光源 | 第29-31页 |
| ·光纤 | 第31-32页 |
| ·光电探测器 | 第32-33页 |
| ·光纤耦合器（分路器） | 第33-34页 |
| ·振动信号源 | 第34页 |
| ·总结 | 第34-37页 |
| ·相关电路设计、仿真与调试 | 第37-48页 |
| ·半导体激光器驱动电路 | 第37-43页 |
| ·电流/电压（I/V）转换电路 | 第43-46页 |
| ·主放大电路 | 第46-48页 |
| ·光纤探头 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 5 振动信号数据采集与处理系统 | 第51-71页 |
| ·数据采集与处理系统整体框图 | 第51页 |
| ·滤波电路 | 第51-53页 |
| ·判向与信号细分电路 | 第53-58页 |
| ·判向与细分的必要性 | 第53-55页 |
| ·判向与信号细分电路 | 第55-58页 |
| ·基于单片机的信号处理 | 第58-63页 |
| ·串口通信 | 第63-64页 |
| ·基于VC 的数据采集与处理系统 | 第64-69页 |
| ·串口接收模块 | 第65-66页 |
| ·数据处理模块 | 第66-67页 |
| ·数据显示模块 | 第67-68页 |
| ·数据存储模块 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 6 实验结果与分析 | 第71-79页 |
| ·振动信号检测系统实验平台 | 第71页 |
| ·实验条件 | 第71-73页 |
| ·实验结果 | 第73-76页 |
| ·实验分析 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 7 总结与展望 | 第79-81页 |
| ·总结 | 第79页 |
| ·展望 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 附录 A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第87页 |