硅微陀螺读出电路低噪声设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-18页 |
| ·课题背景 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-16页 |
| ·概述 | 第7-8页 |
| ·硅微陀螺研究现状 | 第8-14页 |
| ·微小电容读出电路研究现状 | 第14-16页 |
| ·研究的目的和意义 | 第16-17页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 读出电路结构研究及噪声分析 | 第18-39页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·微陀螺动力学原理 | 第18-25页 |
| ·科里奥利斯力原理 | 第18-20页 |
| ·微机械陀螺动力学方程 | 第20-21页 |
| ·微机械陀螺静电驱动原理 | 第21-24页 |
| ·微机械陀螺电容检测原理 | 第24-25页 |
| ·微陀螺读出电路结构 | 第25-34页 |
| ·读出电路检测电容的区别 | 第25-26页 |
| ·读出电路检测方式的区别 | 第26-30页 |
| ·开关电容读出电路 | 第30-34页 |
| ·微陀螺读出电路方案 | 第34-35页 |
| ·微陀螺读出电路噪声分析 | 第35-39页 |
| ·热噪声 | 第36页 |
| ·闪烁噪声 | 第36-39页 |
| 第三章 低噪声前置放大器设计 | 第39-51页 |
| ·前置放大器噪声分析与输入管选择 | 第39-43页 |
| ·电容检测原理 | 第39-40页 |
| ·噪声分析与输入管选择 | 第40-43页 |
| ·前置放大器结构选择 | 第43-45页 |
| ·前置放大器噪声计算与仿真 | 第45-47页 |
| ·前置放大器噪声分析 | 第45-46页 |
| ·前置放大器噪声仿真 | 第46-47页 |
| ·前置放大器分析与仿真 | 第47-51页 |
| ·开环增益与相位裕度 | 第47-48页 |
| ·共模抑制比 | 第48页 |
| ·电源抑制比 | 第48-49页 |
| ·输入参考噪声 | 第49-50页 |
| ·总体性能指标 | 第50-51页 |
| 第四章 读出电路其它模块低噪声设计 | 第51-60页 |
| ·微机械陀螺结构模型 | 第51页 |
| ·寄生电容检测与低噪声设计 | 第51-53页 |
| ·T型电阻网络的低噪声设计 | 第53-54页 |
| ·对外部噪声的抑制 | 第54-56页 |
| ·对电磁干扰的抑制 | 第54-55页 |
| ·对电源噪声的抑制 | 第55页 |
| ·对地噪声的抑制 | 第55-56页 |
| ·SIGMA-DELTA带通调制器设计 | 第56-60页 |
| 第五章 整体电路仿真与版图设计 | 第60-73页 |
| ·整体电路仿真 | 第60-61页 |
| ·版图设计 | 第61-72页 |
| ·版图设计的布局 | 第62页 |
| ·版图设计的可靠性 | 第62-63页 |
| ·具体版图设计 | 第63-70页 |
| ·整体版图设计 | 第70页 |
| ·后仿真结果 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
