| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·MEMS 概述 | 第8-10页 |
| ·MEMS 的定义和特点 | 第8-9页 |
| ·MEMS 的发展 | 第9-10页 |
| ·微型执行器概述 | 第10-11页 |
| ·静电微执行器Pull-in 现象介绍 | 第11-12页 |
| ·本论文的主要内容 | 第12-13页 |
| 第二章 忽略边缘效应的静电微执行器Pull-in 现象 | 第13-29页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·忽略边缘效应的静态Pull-in 现象 | 第13-17页 |
| ·平行板式静电微执行器的静态Pull-in 现象 | 第13-15页 |
| ·扭转式静电微执行器的静态Pull-in 现象 | 第15-17页 |
| ·忽略边缘效应的动态Pull-in 现象 | 第17-28页 |
| ·平行板式静电微执行器的动态Pull-in 现象 | 第17-25页 |
| ·扭转式静电微执行器的动态Pull-in 现象 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 计及边缘效应的静电微执行器Pull-in 现象 | 第29-48页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·计及边缘效应的静态Pull-in 现象 | 第29-32页 |
| ·平行板式静电执行器静态Pull-in 现象 | 第29-31页 |
| ·扭转式静电执行器静态Pull-in 现象 | 第31-32页 |
| ·计及边缘效应的动态Pull-in 现象 | 第32-47页 |
| ·平行板式静电执行器动态Pull-in 现象 | 第32-41页 |
| ·扭转式静电执行器动态Pull-in 现象 | 第41-47页 |
| ·本章总结 | 第47-48页 |
| 第四章 ANSYS 仿真 | 第48-56页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·平行板式静电微执行器的ANSYS 仿真 | 第48-52页 |
| ·扭转式静电微执行器的ANSYS 仿真 | 第52-55页 |
| ·本章总结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·工作总结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 作者在硕士研究生期间发表论文情况 | 第62页 |