| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题来源 | 第8-9页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| ·课题国内外研究现状 | 第10-14页 |
| ·微悬臂梁传感技术的发展现状及其应用 | 第10-12页 |
| ·微悬臂梁传感技术基础理论研究现状 | 第12-13页 |
| ·压电微悬臂梁传感技术的发展现状 | 第13-14页 |
| ·主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 压电微悬臂梁传感器工作原理的研究 | 第15-20页 |
| ·微悬臂梁传感器的工作原理 | 第15-18页 |
| ·微悬臂梁的主要结构及应用 | 第15页 |
| ·微悬臂梁的工作模式 | 第15-16页 |
| ·微悬臂梁信号检测方法原理及优缺点 | 第16-17页 |
| ·微悬臂梁动态工作模式的激励方法 | 第17-18页 |
| ·压电微悬臂梁传感工作方式 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 压电微悬臂梁静力学弯曲理论模型的建立 | 第20-29页 |
| ·压电微悬臂梁静力学弯曲模型的建立 | 第20-24页 |
| ·模型建立的假设条件 | 第20-21页 |
| ·中性层位置的确立 | 第21-22页 |
| ·基于能量法的静力学弯曲模型建立 | 第22-24页 |
| ·压电微悬臂梁静力学弯曲性能的仿真分析 | 第24-28页 |
| ·压电微悬臂梁曲率半径与厚度之间关系的分析 | 第24-26页 |
| ·压电微悬臂梁曲率半径与吸附分子间距之间关系的分析 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 压电微悬臂梁动力学振动模型的建立 | 第29-43页 |
| ·不考虑压电效应和吸附条件下的模型建立 | 第29-33页 |
| ·模型建立的假设条件 | 第29页 |
| ·动力学模型的建立和理论解 | 第29-31页 |
| ·固有频率参数依赖性的分析 | 第31-33页 |
| ·吸附条件下不考虑压电效应时动力学模型的建立 | 第33-36页 |
| ·模型建立的假设条件 | 第33页 |
| ·吸附对动力学模型的影响 | 第33-35页 |
| ·固有频率与吸附分子间距之间关系的分析 | 第35-36页 |
| ·未吸附条件下考虑压电效应时动力学模型的建立 | 第36-39页 |
| ·模型建立的假设条件 | 第36页 |
| ·压电效应对动力学振动模型的影响 | 第36-38页 |
| ·固有频率与激振电压关系的分析 | 第38-39页 |
| ·同时考虑压电效应和吸附时动力学模型的建立和分析 | 第39-42页 |
| ·动力学模型建立的假设条件 | 第39页 |
| ·考虑吸附和压电效应时的动力学模型建立 | 第39-41页 |
| ·压电微悬臂梁气体传感器的性能分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 压电微悬臂梁传感器湿度检测实验 | 第43-51页 |
| ·实验平台的总体方案和结构 | 第43页 |
| ·实验平台的搭建 | 第43-45页 |
| ·压电微悬臂梁的结构和主要参数 | 第44-45页 |
| ·CHL-156 防潮柜的主要性能指标 | 第45页 |
| ·实验结果及其分析 | 第45-49页 |
| ·基频测量实验 | 第45-47页 |
| ·压电微悬臂梁湿度检测实验 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 结论 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59页 |