| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·MEMS的发展现状 | 第7-9页 |
| ·MEMS简述 | 第7-8页 |
| ·MEMS的工艺技术 | 第8-9页 |
| ·微执行器的现状 | 第9页 |
| ·Pull-in现象介绍 | 第9-10页 |
| ·本文的主要工作 | 第10-12页 |
| 第二章 忽略边缘电场效应的静态Pull-in 现象 | 第12-18页 |
| ·理论模型 | 第12-14页 |
| ·能量法求解 | 第14-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 平行板微执行器的边缘电场效应 | 第18-28页 |
| ·引言 | 第18-19页 |
| ·Schwarz-Christoffel变换 | 第19-25页 |
| ·理论模型 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 考虑边缘电场效应的静态Pull-in 现象 | 第28-66页 |
| ·漏电容模型一的静态Pull-in现象 | 第28-37页 |
| ·力法求解 | 第28-29页 |
| ·能量法求解 | 第29-32页 |
| ·参数变化对Pull-in结果的影响 | 第32-37页 |
| ·漏电容模型二的静态Pull-in现象 | 第37-45页 |
| ·力法求解 | 第37-38页 |
| ·能量法求解 | 第38-40页 |
| ·参数变化对Pull-in结果的影响 | 第40-45页 |
| ·漏电容模型三的静态Pull-in现象 | 第45-53页 |
| ·力法求解 | 第45-47页 |
| ·参数变化对Pull-in结果的影响 | 第47-53页 |
| ·结果分析 | 第53-57页 |
| ·ANSYS仿真结果 | 第57-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第五章 总结和展望 | 第66-68页 |
| ·工作总结 | 第66-67页 |
| ·工作展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 作者在硕士研究生期间发表论文情况 | 第72页 |