| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·现状及发展趋势 | 第11-18页 |
| ·本文主要工作、创新及课题来源 | 第18-20页 |
| 2 MEMS微结构功能特征分析评定系统框架 | 第20-28页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·MEMS微结构功能特征分析评定系统框架 | 第20-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 MEMS微结构的三维自动拼接 | 第28-47页 |
| ·引言 | 第28-29页 |
| ·SIFT特征匹配的原理以及优劣性 | 第29-35页 |
| ·基于白光垂直扫描显微测量的MEMS微结构的三维自动拼接 | 第35-40页 |
| ·实验结果与分析 | 第40-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 MEMS微结构典型功能特征分析与参数表征 | 第47-71页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·方向特征的鲁棒提取方法 | 第47-59页 |
| ·基于方向特征的MEMS微结构典型功能特征的参数表征 | 第59-63页 |
| ·实验结果与分析 | 第63-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 5 MEMS微结构典型缺陷的自动检测、辨识与三维表征 | 第71-101页 |
| ·引言 | 第71-72页 |
| ·基于参考法的MEMS微结构典型缺陷自动辨识 | 第72-77页 |
| ·基于IRT的缺陷自动检测 | 第77-89页 |
| ·实验结果与分析 | 第89-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 6 MEMS微结构特征分析评定系统应用实例 | 第101-122页 |
| ·引言 | 第101页 |
| ·MEMS微结构的三维自动拼接 | 第101-108页 |
| ·典型功能特征分析与参数表征 | 第108-112页 |
| ·典型缺陷的自动检测、辨识与三维表征 | 第112-121页 |
| ·本章小结 | 第121-122页 |
| 7 总结与展望 | 第122-124页 |
| ·总结 | 第122页 |
| ·展望及对今后工作的建议 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-139页 |
| 附录 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第139页 |
