| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·微光机电系统的概念 | 第8-9页 |
| ·微光机电系统的特点 | 第9-10页 |
| ·微光机电系统的加工工艺 | 第10页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第10-12页 |
| ·微光机电系统的应用与前景展望 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要工作 | 第13-14页 |
| 第二章 有限单元法 | 第14-18页 |
| ·有限单元法简介 | 第14-15页 |
| ·有限单元法的数值分析 | 第15-18页 |
| ·弹性力学平面问题的两种类型 | 第15-17页 |
| ·有限单元法的计算步骤 | 第17-18页 |
| 第三章 微镜面的自组装制作方法 | 第18-24页 |
| ·自组装方法的基本原理 | 第18-19页 |
| ·微镜面的制作方法 | 第19-20页 |
| ·微镜面的仿真结果 | 第20-24页 |
| 第四章 微镜面制作的实验过程及结果分析 | 第24-28页 |
| ·实验流程 | 第24-26页 |
| ·实验结果及分析 | 第26-28页 |
| 第五章 微角反射器的仿真设计 | 第28-32页 |
| ·微角反射器 | 第28-31页 |
| ·不同角度的微反射镜 | 第31-32页 |
| 第六章 总结 | 第32-34页 |
| 参考文献 | 第34-36页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第36-37页 |
| 致谢 | 第37页 |