| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-26页 |
| ·研究背景 | 第9-14页 |
| ·MEMS技术 | 第9-10页 |
| ·MEMS CAD技术 | 第10-11页 |
| ·CAD中的几何建模技术 | 第11-14页 |
| ·MEMS几何建模方法研究 | 第14-22页 |
| ·工艺模拟几何建模法 | 第14-16页 |
| ·特征建模法 | 第16-21页 |
| ·直接建模法 | 第21-22页 |
| ·MEMS的工艺建模方法研究 | 第22-25页 |
| ·传统的工艺建模法 | 第22-23页 |
| ·结构化的工艺建模法 | 第23-25页 |
| ·论文的研究目标和组织结构 | 第25-26页 |
| 第2章 面向精化的表面微加工MEMS建模方法与框架 | 第26-31页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·面向精化的表面微加工MEMS建模需求分析 | 第26-27页 |
| ·面向精化的表面微加工MEMS器件几何和工艺建模方法概述 | 第27-28页 |
| ·面向精化的表面微加工MEMS几何和工艺建模框架 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 面向掩模精化的表面微加工MEMS几何建模 | 第31-40页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·面向掩模精化的表面微加工MEMS几何建模方法概述 | 第31-32页 |
| ·表面微加工工艺几何关联关系图 | 第32-34页 |
| ·工艺模型和几何模型关联关系图的构成 | 第32-33页 |
| ·工艺模型和几何模型关联关系图的生成 | 第33-34页 |
| ·基于依赖关系图掩模变动驱动的几何建模 | 第34-37页 |
| ·掩模精化驱动的几何建模一般过程 | 第34-35页 |
| ·参数限制的局部拓扑改变检测与处理 | 第35-37页 |
| ·基于局部工艺模拟的三维模型拓扑突变的更新策略 | 第37页 |
| ·掩模变动驱动的几何建模流程 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 面向几何模型精化的表面微加工MEMS工艺建模 | 第40-48页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·面向几何模型精化的表面微加工MEMS工艺建模方法概述 | 第40-41页 |
| ·面向几何模型精化的表面微加工MEMS工艺建模方法 | 第41-47页 |
| ·三维模型中水平面形状的调整 | 第41-42页 |
| ·三维模型中水平面垂直高度的调整 | 第42-45页 |
| ·通过绘制草图在三维模型中添加新的凹凸结构 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 表面微加工MEMS几何和工艺建模原型系统 | 第48-56页 |
| ·系统开发环境 | 第48-51页 |
| ·ACIS内核简介 | 第48-49页 |
| ·HOOPS渲染组件 | 第49页 |
| ·HOOPS与ACIS的集成 | 第49-50页 |
| ·HOOPS在MFC平台上的应用 | 第50-51页 |
| ·原型系统的功能结构 | 第51-52页 |
| ·二维掩模精化驱动的几何建模实现 | 第52-54页 |
| ·面向几何模型精化工艺建模实现 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第6章 总结与展望 | 第56-57页 |
| ·总结 | 第56页 |
| ·进一步的工作以及展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表和录用的学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
