| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-30页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·微电子机械系统(MEMS)简介 | 第11-18页 |
| ·MEMS的发展历史 | 第11-13页 |
| ·MEMS技术的产业化应用 | 第13-18页 |
| ·MEMS微针阵列的发展现状 | 第18-25页 |
| ·植入式记录微针电极 | 第18-20页 |
| ·体表记录实心微针电极 | 第20-23页 |
| ·用于药物缓释的中空微针电极 | 第23-25页 |
| ·本论文的研究意义及研究内容 | 第25-26页 |
| ·本论文的研究意义 | 第25页 |
| ·本论文的研究内容 | 第25-26页 |
| 参考文献 | 第26-30页 |
| 第二章 干电极的设计与制备 | 第30-64页 |
| ·干电极设计 | 第30-33页 |
| ·干电极微针材料选择 | 第30-31页 |
| ·干电极微针结构设计 | 第31-33页 |
| ·干电极制备 | 第33-49页 |
| ·干电极制备工艺介绍 | 第33-41页 |
| ·干电极的制备过程 | 第41-49页 |
| ·微针针尖加工工艺的研究 | 第49-61页 |
| ·硅的结构特性 | 第49-51页 |
| ·HF-HNO_3-CH_3COOH各向同性湿法腐蚀原理 | 第51-54页 |
| ·微针针尖加工工艺实验 | 第54-58页 |
| ·微针湿法腐蚀一致性实验 | 第58-61页 |
| ·干电极的力学模拟 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 第三章 干电极的应用 | 第64-83页 |
| ·皮肤电极提取信号的电学模型 | 第64-66页 |
| ·干电极的封装及测试 | 第66-69页 |
| ·干电极的阻抗测试 | 第66-68页 |
| ·干电极水阻实验 | 第68-69页 |
| ·干电极用于提取肌电信号 | 第69-70页 |
| ·干电极用于提取心电信号 | 第70-72页 |
| ·干电极用于提取脑电信号 | 第72-81页 |
| ·脑电信号的分类 | 第72-74页 |
| ·干电极用于提取自发脑电 | 第74-78页 |
| ·干电极用于提取视觉诱发脑电 | 第78-81页 |
| ·本章小结 | 第81页 |
| 参考文献 | 第81-83页 |
| 第四章 干电极的改进 | 第83-100页 |
| ·干电极结构的改进 | 第83-92页 |
| ·山峰型微针结构 | 第83-84页 |
| ·金字塔型微针结构 | 第84-88页 |
| ·倒钩型微针结构 | 第88-89页 |
| ·柔性干电极结构 | 第89-92页 |
| ·干电极电学性能的改进 | 第92-95页 |
| ·干电极阻抗性能改进探索 | 第95-98页 |
| ·本章小结 | 第98页 |
| 参考文献 | 第98-100页 |
| 第五章 经皮给药微针 | 第100-109页 |
| ·经皮给药微针的制作 | 第102-106页 |
| ·经皮给药微针的封装及测试 | 第106-107页 |
| ·本章小结 | 第107页 |
| 参考文献 | 第107-109页 |
| 第六章 总结与展望 | 第109-111页 |
| ·论文工作总结 | 第109-110页 |
| ·后续工作展望 | 第110-111页 |
| 在学期间的研究成果 | 第111-112页 |
| 致谢 | 第112页 |