聚合物微结构超声波压印工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·聚合物微器件在MEMS领域中的应用及其制备方法 | 第10-14页 |
| ·聚合物超声波压印技术 | 第14-16页 |
| ·国内外研究概况及发展趋势 | 第16-18页 |
| ·本文研究内容及意义 | 第18-19页 |
| 2 面向微流控芯片微沟道制作的超声波压印方法 | 第19-32页 |
| ·超声波压印实验材料及设备 | 第19-23页 |
| ·模具设计及制作 | 第19-22页 |
| ·超声波压印实验系统 | 第22-23页 |
| ·超声波压印实验 | 第23-25页 |
| ·压印参数选取 | 第24页 |
| ·超声波压印实验过程 | 第24-25页 |
| ·压印实验结果及讨论 | 第25-29页 |
| ·成形质量评价方法 | 第25-26页 |
| ·均匀性分析 | 第26-28页 |
| ·超声波参数对微沟道复制的影响规律 | 第28-29页 |
| ·不同辅助结构的影响 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 聚合物微结构超声波双面压印工艺研究 | 第32-40页 |
| ·实验准备 | 第32-34页 |
| ·双面压印方案的确定 | 第32-33页 |
| ·玻璃模具的制作工艺 | 第33-34页 |
| ·双面压印实验装置 | 第34页 |
| ·超声波双面压印实验 | 第34-35页 |
| ·压印实验结果及讨论 | 第35-36页 |
| ·热辅助超声波压印方法 | 第36-39页 |
| ·热辅助超声波压印装置 | 第37页 |
| ·热辅助超声波压印实验 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 热辅助超声波双面压印工艺研究 | 第40-51页 |
| ·正交法的意义和原理 | 第40-41页 |
| ·热辅助超声波双面压印正交实验 | 第41页 |
| ·实验结果及讨论 | 第41-45页 |
| ·评价指标 | 第41-42页 |
| ·工艺参数对成形的影响 | 第42-44页 |
| ·复制均一性 | 第44-45页 |
| ·不同上下模具对成形的影响 | 第45-48页 |
| ·不同材料对超声波压印成形的影响 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 超声波双面压印温度场研究 | 第51-58页 |
| ·温度测量系统 | 第51-53页 |
| ·温度传感器的选择 | 第51-52页 |
| ·温度测控系统 | 第52-53页 |
| ·超声波双面压印温度场的测试 | 第53-55页 |
| ·热辅助对温度场的影响 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
