| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·研究背景及意义 | 第7-8页 |
| ·MEMS 陀螺仪的研究现状 | 第8-9页 |
| ·论文的主要内容和框架 | 第9-11页 |
| 第二章 振动环型MEMS 陀螺仪的研究 | 第11-24页 |
| ·MEMS 陀螺仪的基本理论 | 第11-16页 |
| ·科里奥利效应 | 第11-12页 |
| ·傅科摆 | 第12-13页 |
| ·MEMS 振动陀螺仪 | 第13-16页 |
| ·振动环型MEMS 陀螺仪 | 第16-23页 |
| ·振动环型MEMS 陀螺仪的基本原理 | 第16-17页 |
| ·振动环型MEMS 陀螺仪的固有振动频率计算 | 第17-20页 |
| ·振动环型MEMS 陀螺仪的电路模型 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 Sigma-Delta 闭环力反馈接口系统的研究 | 第24-40页 |
| ·Sigma-Delta 调制技术 | 第24-28页 |
| ·量化与量化噪声 | 第24-25页 |
| ·Sigma-Delta 调制器 | 第25-28页 |
| ·Sigma-Delta 闭环力反馈接口系统 | 第28-39页 |
| ·C/V 转换电路 | 第28-30页 |
| ·Sigma-Delta 闭环力反馈接口系统 | 第30-32页 |
| ·MEMS 陀螺仪机械结构Z 域模型Hm(z)的建立 | 第32-35页 |
| ·补偿函数Hc(z)和量化噪声整形函数Hns(z) | 第35-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 用于振动环型MEMS 陀螺仪驱动电路的Sigma-Dleta 调制器的设计 | 第40-50页 |
| ·数字控制闭环驱动系统 | 第40-41页 |
| ·用于闭环驱动环路的 Sigma-Delta 调制器设计 | 第41-49页 |
| ·一般结构Sigma-Delta 调制器 | 第41-42页 |
| ·CIFB 结构Sigma-Delta 调制器 | 第42-44页 |
| ·Sigma-Delta 调制器的结构设计 | 第44-45页 |
| ·参数和数字校正电路设计 | 第45-46页 |
| ·系统级仿真与分析 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-52页 |
| ·论文工作总结 | 第50-51页 |
| ·后续工作展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 附录：作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58页 |
