高Q光学环形微腔MEMS加工工艺及热处理研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第一章 绪论	第8-15页
·课题的研究意义	第8-10页
·国内外光学微腔的研究进展	第10-13页
·本论文结构安排	第13-15页
第二章 光学微腔的理论简介与 MEMS 工艺	第15-28页
·光学微腔理论简介	第15-16页
·微盘腔的制作方法概述	第16-27页
·谐振腔的材料选取	第16-17页
·微盘谐振腔加工工艺	第17-27页
·本章小结	第27-28页
第三章高 Q 环形微腔激光回流以及热应力测试	第28-39页
·环形微腔热回流实验	第28-33页
·热回流模型建立	第28-30页
·热回流实验简介	第30-33页
·微环腔物理尺度测试	第33-36页
·拉曼光谱测试热应力	第36-38页
·本章小结	第38-39页
第四章 高 Q 环形微腔的性能测试	第39-47页
·微腔品质因素耦合实验	第39-42页
·锥形光纤制作	第39-41页
·品质因素测试方法	第41-42页
·微腔性能测试实验	第42-45页
·本章小结	第45-47页
第五章 总结与展望	第47-49页
·本文总结	第47-48页
·今后的工作展望	第48-49页
参考文献	第49-53页
攻读硕士学位期间所取得的研究成果	第53-54页
致谢	第54页