| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-33页 |
| §1.1 MEMS技术 | 第12-15页 |
| §1.2 射频MEMS技术 | 第15-18页 |
| §1.3 基于射频MEMS开关的可重构单片电路 | 第18-27页 |
| §1.3.1 高性能射频MEMS开关 | 第18-20页 |
| §1.3.2 MEMS可调滤波器 | 第20-23页 |
| §1.3.3 毫米波MEMS移相器 | 第23-25页 |
| §1.3.4 射频MEMS可重构匹配网络和可重构天线 | 第25-27页 |
| §1.4 本论文的主要研究工作 | 第27-29页 |
| 参考文献 | 第29-33页 |
| 第二章 射频MEMS开关单元综合设计 | 第33-71页 |
| §2.1 射频MEMS开关研究背景分析 | 第33-35页 |
| §2.2 MEMS开关性能综合优化设计考虑 | 第35-38页 |
| ·直接接触式MEMS开关设计方案 | 第35-37页 |
| ·MEMS开关接触可靠性设计相关的关键参数分析 | 第37-38页 |
| §2.3 MEMS开关结构设计与分析 | 第38-60页 |
| ·MEMS开关力学模型参数设计与分析 | 第38-42页 |
| ·MEMS开关微结构应力分析 | 第42-47页 |
| ·MEMS开关接触电阻分析 | 第47-49页 |
| ·MEMS开关二维模型分析与有限元仿真分析 | 第49-60页 |
| §2.4 MEMS开关射频设计与电磁场仿真 | 第60-65页 |
| §2.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 第三章 高隔离MEMS开关 | 第71-101页 |
| §3.1 射频MEMS开关单元电路模型参数提取 | 第71-82页 |
| ·直接接触式MEMS开关电路模型 | 第71-73页 |
| ·在片测试参数剥离图形设计 | 第73-78页 |
| ·射频MEMS低温表面牺牲层工艺 | 第78-81页 |
| ·基于测试的MEMS开关模型参数拟合 | 第81-82页 |
| §3.2 高隔离度MEMS开关优化与测试结果分析 | 第82-94页 |
| ·电路理论基础 | 第82-83页 |
| ·MEMS串并联电路结构分析比较 | 第83-87页 |
| ·高隔离MEMS开关测试结果与分析 | 第87-94页 |
| §3.3 单刀双掷MEMS开关 | 第94-98页 |
| ·结构设计 | 第94-95页 |
| ·工艺结果与测试结果分析 | 第95-98页 |
| §3.4 本章小结 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-101页 |
| 第四章 MEMS可调滤波器 | 第101-122页 |
| §4.1 微波滤波器基本原理 | 第101-103页 |
| §4.2 可调MEMS滤波器设计 | 第103-113页 |
| ·平行耦合微带线滤波器 | 第103-106页 |
| ·可调MEMS谐振器设计 | 第106-107页 |
| ·无通孔型CPW到微带线转换接口设计 | 第107-111页 |
| ·可调MEMS滤波器集成设计 | 第111-113页 |
| §4.3 可调MEMS滤波器测试结果与分析 | 第113-120页 |
| ·可调MEMS滤波器样品测试 | 第113-115页 |
| ·可调MEMS滤波器Q值分析 | 第115-117页 |
| ·可调MEMS滤波器损耗分析 | 第117-118页 |
| ·可调MEMS滤波器性能比较 | 第118-120页 |
| §4.4 本章小结 | 第120页 |
| 参考文献 | 第120-122页 |
| 第五章 毫米波MEMS移相器 | 第122-135页 |
| §5.1 MEMS移相器基本原理 | 第122-124页 |
| §5.2 毫米波MEMS移相器设计 | 第124-127页 |
| ·毫米波MEMS开关设计 | 第124-126页 |
| ·阻抗匹配设计 | 第126页 |
| ·毫米波MEMS移相器集成设计 | 第126-127页 |
| §5.3 毫米波MEMS移相器测试结果与分析 | 第127-132页 |
| ·MEMS移相器样品工艺结果 | 第127-128页 |
| ·一位MEMS移相器样品测试与分析 | 第128-129页 |
| ·两位MEMS移相器样品测试与分析 | 第129-132页 |
| §5.4 本章小结 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-135页 |
| 第六章 结论与展望 | 第135-137页 |
| §6.1 主要结论 | 第135-136页 |
| §6.2 研究展望 | 第136-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 攻读博士期间发表的论文 | 第138-139页 |