面向微型光谱仪的MOEMS光栅光调制器研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| ·研究背景 | 第9页 |
| ·MOEMS 光调制器研究现状 | 第9-13页 |
| ·扫描光栅微镜 | 第9-10页 |
| ·光栅光阀 | 第10页 |
| ·可编程光栅 | 第10-11页 |
| ·数字微镜 | 第11-12页 |
| ·周期可调闪耀光栅 | 第12页 |
| ·技术对比与分析 | 第12-13页 |
| ·研究目的及主要内容 | 第13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 2 光栅光调制器的光机电特性 | 第14-26页 |
| ·光栅光调制器结构及工作原理 | 第14-15页 |
| ·光栅光调制器的光学特性 | 第15-19页 |
| ·标量光学分析 | 第15-17页 |
| ·矢量光学分析 | 第17-19页 |
| ·光栅光调制器的机电特性 | 第19-24页 |
| ·等效机电模型 | 第19-20页 |
| ·静态特性分析 | 第20-21页 |
| ·弹性系数的确定 | 第21-23页 |
| ·动态特性分析 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 3 光栅光调制器的设计与仿真 | 第26-38页 |
| ·光学参数设计 | 第26-27页 |
| ·光栅常数 | 第26页 |
| ·光栅占空比 | 第26-27页 |
| ·光栅周期数 | 第27页 |
| ·结构参数设计 | 第27-31页 |
| ·几何尺寸设计 | 第27-28页 |
| ·上下初始间距 | 第28页 |
| ·梁的设计 | 第28-29页 |
| ·电极的设计 | 第29-31页 |
| ·机电特性仿真 | 第31-35页 |
| ·器件建模 | 第31-32页 |
| ·静态仿真 | 第32-34页 |
| ·动态仿真 | 第34-35页 |
| ·光栅面挠度仿真与优化 | 第35-37页 |
| ·梁结构优化 | 第35-36页 |
| ·底电极优化 | 第36页 |
| ·光栅区厚度优化 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 光栅光调制器的加工工艺 | 第38-48页 |
| ·加工工艺的选择 | 第38-39页 |
| ·多晶硅结构的工艺流程 | 第39-44页 |
| ·流程的制定 | 第39-40页 |
| ·版图设计 | 第40-41页 |
| ·关键工艺 | 第41-43页 |
| ·试验结果 | 第43-44页 |
| ·Al 膜结构的工艺流程 | 第44-47页 |
| ·参数调整 | 第44页 |
| ·工艺流程制定 | 第44-45页 |
| ·版图设计 | 第45-46页 |
| ·流片与封装 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 光栅光调制器的驱动及实验 | 第48-61页 |
| ·光栅光调制器的驱动控制 | 第48-53页 |
| ·基于FPGA 的控制程序 | 第48-51页 |
| ·驱动电路 | 第51-53页 |
| ·光栅光调制器的机电特性测试实验 | 第53-57页 |
| ·测试实验系统 | 第53-54页 |
| ·静态特性测试 | 第54-56页 |
| ·动态特性测试 | 第56-57页 |
| ·光栅光调制器的功能实验 | 第57-60页 |
| ·实验系统 | 第57页 |
| ·静态投影实验 | 第57-58页 |
| ·动态调制实验 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 6 全文总结及工作展望 | 第61-63页 |
| ·全文总结 | 第61页 |
| ·工作展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-72页 |
| 附录 | 第72页 |
| A 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第72页 |
| B 作者在攻读学位期间申报专利 | 第72页 |
| C 作者在攻读学位期间参加的科研项目 | 第72页 |
