硅和石墨烯材料纳机电系统的机电耦合特性研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 1 绪论 | 第12-30页 |
| ·纳机电系统概述 | 第12-17页 |
| ·发展历史 | 第12-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·应变硅场效应管概述 | 第17-21页 |
| ·发展历史 | 第17-19页 |
| ·国内外研究现状 | 第19-21页 |
| ·石墨烯材料与器件概述 | 第21-28页 |
| ·发展历史 | 第21-23页 |
| ·国内外研究现状 | 第23-28页 |
| ·论文主要内容及意义 | 第28-30页 |
| 2 硅NEMS器件制作与仿真 | 第30-54页 |
| ·器件结构与制作工艺 | 第30-36页 |
| ·器件结构与工作原理 | 第30-31页 |
| ·基本工艺步骤 | 第31-32页 |
| ·TMAH腐蚀工艺改进 | 第32-34页 |
| ·释放工艺改进 | 第34-36页 |
| ·形变势理论仿真载流子迁移率 | 第36-44页 |
| ·建模仿真方案 | 第36-38页 |
| ·p型场效应管中空穴迁移率 | 第38-40页 |
| ·n型场效应管中电子迁移率 | 第40-44页 |
| ·机电耦合模型的建立 | 第44-49页 |
| ·有限元方法计算位移随电压改变 | 第44-47页 |
| ·仿真无位移器件的电学特性 | 第47-49页 |
| ·实验与仿真结果对比分析 | 第49-53页 |
| ·真空及升温测试结果 | 第49-50页 |
| ·仿真结果与实验对比 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 3 石墨烯研究的理论基础 | 第54-69页 |
| ·建模仿真方案 | 第54-55页 |
| ·紧束缚理论 | 第55-61页 |
| ·物理基础 | 第55-58页 |
| ·建模步骤与算法 | 第58-61页 |
| ·密度泛函理论 | 第61-68页 |
| ·物理基础 | 第61-64页 |
| ·算法与软件工具 | 第64-66页 |
| ·仿真参数与结果分析 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 4 形变石墨烯的机电耦合特性 | 第69-85页 |
| ·弯曲形变石墨烯的电学特性 | 第69-79页 |
| ·研究动机 | 第69-71页 |
| ·器件结构与建模方法 | 第71-73页 |
| ·弯曲石墨烯的能带和禁带宽度 | 第73-75页 |
| ·弯曲石墨烯的本地态密度 | 第75-76页 |
| ·台阶状石墨烯的传输谱 | 第76-78页 |
| ·台阶状石墨烯的电压电流曲线 | 第78-79页 |
| ·压缩应变下石墨烯的机械翘曲和电学特性 | 第79-84页 |
| ·研究动机 | 第79页 |
| ·器件结构与建模方法 | 第79-80页 |
| ·翘曲石墨烯的位移和能量 | 第80-81页 |
| ·翘曲石墨烯的传输谱 | 第81-82页 |
| ·翘曲石墨烯的电压电流曲线 | 第82-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 5 石墨烯NEMS器件特性 | 第85-97页 |
| ·石墨烯NEMS毫米波开关 | 第85-90页 |
| ·研究动机 | 第85页 |
| ·器件结构与建模方法 | 第85-88页 |
| ·开关的位移和范德华力 | 第88-89页 |
| ·开关的电磁传输参数 | 第89-90页 |
| ·石墨烯NEMS压力传感器 | 第90-96页 |
| ·研究动机 | 第90页 |
| ·器件结构与建模方法 | 第90-92页 |
| ·不同压力下的能带和态密度 | 第92-94页 |
| ·压力传感器的传输谱 | 第94-95页 |
| ·压力传感器的电流压力曲线 | 第95-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 6 总结 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-105页 |
| 作者简历 | 第105页 |
