MEMS加速度计前端放大器设计及系统建模与仿真
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-11页 |
| ·研究背景 | 第8页 |
| ·国内外的研究进展 | 第8-10页 |
| ·论文结构 | 第10-11页 |
| 第二章 MEMS 闭环加速度计建模与系统分析 | 第11-30页 |
| ·加速度计机械部分的原理 | 第11-14页 |
| ·加速度计机械部分的建模 | 第14-18页 |
| ·闭环加速度计系统分析 | 第18-21页 |
| ·闭环系统的精度 | 第19-20页 |
| ·闭环系统的稳定性 | 第20-21页 |
| ·闭环加速度计系统仿真验证 | 第21-30页 |
| 第三章 运算放大器的建模以及参数分析 | 第30-49页 |
| ·运算放大器的建模 | 第30-33页 |
| ·运算放大器的设计参数 | 第33-40页 |
| ·运算放大器的增益和GBW | 第33-36页 |
| ·运算放大器的线性度 | 第36-38页 |
| ·运算放大器闭环状态下等效输出阻抗 | 第38-40页 |
| ·几种运算放大器的小信号分析 | 第40-49页 |
| ·共源共栅运算放大器 | 第40-41页 |
| ·增益增强共源共栅运算放大器 | 第41-43页 |
| ·间接补偿的两级运算放大器 | 第43-46页 |
| ·线性跨导环输出级 | 第46-49页 |
| 第四章 接口电路设计 | 第49-67页 |
| ·电容到电压的转换前端设计 | 第49-56页 |
| ·转换前端的大信号分析 | 第49-54页 |
| ·转换前端的低频噪声抵消 | 第54-55页 |
| ·转换前端的结构 | 第55-56页 |
| ·滤波器设计 | 第56-58页 |
| ·基准电压源设计 | 第58-62页 |
| ·电压源驱动器 | 第62-64页 |
| ·PI 控制器设计 | 第64-65页 |
| ·时钟模块 | 第65-67页 |
| 第五章 整体仿真与测试结果 | 第67-74页 |
| ·加速度计实现 | 第67-69页 |
| ·接口电路和机械部分的系统框图 | 第67-68页 |
| ·接口电路芯片照片 | 第68页 |
| ·机械部分照片 | 第68-69页 |
| ·加速度计实物照片 | 第69页 |
| ·整体仿真结果 | 第69-70页 |
| ·闭环阶跃稳定时间结果 | 第69-70页 |
| ·闭环输出噪声结果 | 第70页 |
| ·测试结果 | 第70-74页 |
| ·测试环境 | 第70-71页 |
| ·建立时间 | 第71页 |
| ·输出噪声 | 第71-72页 |
| ·温度变化 | 第72-74页 |
| 第六章 总结 | 第74-76页 |
| ·工作总结 | 第74页 |
| ·问题及下一步的工作 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
