| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-11页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 HEMT 及悬臂梁-质量块结构的原理 | 第13-21页 |
| ·GaAs 材料的特性 | 第13页 |
| ·HEMT 器件 | 第13-18页 |
| ·HEMT 发展过程 | 第13-14页 |
| ·HEMT 器件基本结构及工作原理 | 第14-16页 |
| ·HEMT 的I-V 特性 | 第16-18页 |
| ·基于GaAs HEMT 嵌入式悬臂梁-质量块结构的原理 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-21页 |
| 第三章 基于 GaAs HEMT 嵌入式悬臂梁-质量块结构的设计与加工 | 第21-43页 |
| ·GaAs HEMT 结构设计 | 第21-22页 |
| ·微悬臂梁-质量块结构的设计 | 第22-34页 |
| ·设计原则 | 第22-27页 |
| ·结构设计原则 | 第22-23页 |
| ·悬臂梁-质量块结构形式的选择 | 第23页 |
| ·悬臂梁-质量块结构的力学特性分析 | 第23-27页 |
| ·参数分析优化 | 第27-29页 |
| ·ANSYS 仿真分析 | 第29-34页 |
| ·悬臂梁-质量块结构的静态分析 | 第29-32页 |
| ·悬臂梁-质量块的结构模态分析 | 第32-34页 |
| ·基于GaAs HEMT 嵌入式微悬臂梁-质量块结构的加工工艺 | 第34-42页 |
| ·微结构的版图设计 | 第34-38页 |
| ·HEMT 微悬臂梁-质量块结构关键工艺设计 | 第38-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 基于 GaAs HEMT 嵌入式悬臂梁-质量块结构的性能测试 | 第43-52页 |
| ·HEMT 参数特性的测试 | 第43页 |
| ·栅槽深度实验 | 第43-44页 |
| ·压阻系数实验 | 第44-47页 |
| ·温度实验 | 第47-49页 |
| ·讨论测试中出现的问题 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 基于 GaAs HEMT 嵌入式微悬臂梁-质量块结构的优化 | 第52-59页 |
| ·空气桥的问题 | 第52-53页 |
| ·压阻系数与晶向的关系问题 | 第53页 |
| ·版图改进 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第六章 总结 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
