微倾斜悬臂梁在振动冲击载荷下的可靠性分析
| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·研究背景及意义 | 第13页 |
| ·MEMS可靠性研究现状 | 第13-19页 |
| ·MEMS基本特征 | 第13-15页 |
| ·MEMS同IC的差别 | 第14页 |
| ·MEMS同普通机械系统的差别 | 第14-15页 |
| ·MEMS可靠性研究相关领域 | 第15页 |
| ·MEMS常见失效模式和失效机理 | 第15-19页 |
| ·MEMS冲击振动可靠性研究现状 | 第19-20页 |
| ·论文的研究思路及结构安排 | 第20-22页 |
| ·论文的研究思路 | 第20-21页 |
| ·论文的结构安排 | 第21-22页 |
| 第二章 微倾斜悬臂梁模型特性分析 | 第22-31页 |
| ·微倾斜悬臂梁模型 | 第22-23页 |
| ·微倾斜悬臂梁弯曲刚度分析 | 第23-24页 |
| ·倾斜悬臂梁静态特性 | 第24-28页 |
| ·静力分析理论解 | 第24-25页 |
| ·ANSYS静力分析 | 第25-28页 |
| ·微梁工作状态所受阻尼和微观力 | 第28-30页 |
| ·阻尼分析 | 第28-29页 |
| ·微梁所受其微观力 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 微悬臂梁振动理论及仿真分析 | 第31-43页 |
| ·微悬臂梁的自由振动理论 | 第31-36页 |
| ·微悬臂梁弯曲振动方程 | 第31-32页 |
| ·固有频率和振型函数 | 第32-36页 |
| ·微悬臂梁在简谐振动下的响应 | 第36-38页 |
| ·振动载荷描述 | 第36页 |
| ·微悬臂梁对于简谐振动的响应 | 第36-38页 |
| ·微倾斜梁动力学特性仿真 | 第38-42页 |
| ·微倾斜梁模态分析 | 第38-40页 |
| ·微倾斜梁谐响应分析 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 倾斜悬臂梁在冲击载荷下的失效分析 | 第43-53页 |
| ·倾斜悬臂梁在冲击下的力学特性理论模型 | 第43-47页 |
| ·准静态理论 | 第43页 |
| ·微悬臂梁对于瞬态冲击的响应 | 第43-47页 |
| ·倾斜梁受冲击载荷的力学特性有限元仿真 | 第47-50页 |
| ·微倾斜悬臂梁仿真建模 | 第47-48页 |
| ·有限元仿真结果及讨论 | 第48-50页 |
| ·倾斜梁受冲击载荷的失效分析 | 第50-52页 |
| ·断裂失效分析 | 第50-51页 |
| ·粘附失效分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 倾斜悬臂梁在冲击载荷下的实验 | 第53-60页 |
| ·实验的目的和意义 | 第53页 |
| ·实验样品的制备以及实验设备 | 第53-56页 |
| ·实验样品的制备 | 第53-55页 |
| ·实验设备简介 | 第55-56页 |
| ·实验步骤 | 第56-57页 |
| ·实验准备 | 第56-57页 |
| ·冲击测试实验 | 第57页 |
| ·实验结果及讨论 | 第57-59页 |
| ·冲击测试结果 | 第57-58页 |
| ·误差分析 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 结论与展望 | 第60-62页 |
| ·研究结论 | 第60页 |
| ·研究展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者在硕士学习期间发表的论文 | 第67页 |
