压电微悬臂梁的动态特性测试

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-15页
·课题来源及意义	第9页
·微结构动态特性测试的研究现状	第9-14页
·本文主要工作	第14-15页
2 基于LabVIEW的电滞回线测量系统	第15-29页
·电滞回线基本理论	第15-16页
·电滞回线测量系统介绍	第16-26页
·测量系统硬件电路	第16-18页
·测量系统软件编程	第18-22页
·EXE文件的生成与使用说明	第22-26页
·电滞回线测量过程及结果分析	第26-28页
·电滞回线测量基本步骤	第26页
·电滞回线测量结果及注意事项	第26-28页
·小结	第28-29页
3 基于机电耦合的压电梁动态特性测试	第29-48页
·执行-传感集成方法测量双片梁动态特性	第29-41页
·压电梁幅频特性计算	第29-34页
·压电梁感应电荷的计算	第34-39页
·执行-传感集成实验方法	第39-41页
·基于虚拟阻抗分析仪的压电悬臂梁动态特性测试	第41-48页
·阻抗测量原理	第41-43页
·阻抗测量方法的实现	第43-46页
·阻抗测量方法的实验结果与讨论	第46-48页
4 基于机械振动的压电梁动态特性测试	第48-68页
·涡流位移计测量压电悬臂梁振动	第48-54页
·涡流位移计标定实验	第48-51页
·涡流位移计对双片悬臂梁的动态测试	第51-54页
·激光多普勒振动仪标定压电悬臂梁动态特性	第54-60页
·激光多普勒振动仪测量原理	第54-55页
·激光多普勒振动仪标定悬臂梁动态特性实验	第55-60页
·光学法测量压电微悬臂梁动态特性	第60-68页
·原子力显微镜工作模式概述	第60-62页
·光学法测量理论分析	第62-68页
结论	第68-70页
参考文献	第70-72页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第72-73页
致谢	第73-75页