动态下MEMS酒杯式谐振器性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·MEMS传感器的概述 | 第10-14页 |
| ·MEMS传感器的产生和发展 | 第10-12页 |
| ·MEMS传感器的应用及前景 | 第12-14页 |
| ·MEMS谐振器 | 第14-19页 |
| ·MEMS谐振器简介 | 第14-15页 |
| ·MEMS谐振器特点 | 第15页 |
| ·谐振器的主要性能指标 | 第15-16页 |
| ·MEMS谐振器的分类 | 第16-18页 |
| ·国内外MEMS谐振器的研究现状 | 第18-19页 |
| ·本论文主要研究内容及工作安排 | 第19-21页 |
| 第2章 品质因数及空气阻尼基础 | 第21-30页 |
| ·品质因数的物理意义 | 第21-23页 |
| ·谐振器品质因数的影响因素 | 第23-25页 |
| ·热弹性损耗 | 第23页 |
| ·表面能量损耗 | 第23-24页 |
| ·支撑损耗 | 第24页 |
| ·空气阻尼损耗 | 第24-25页 |
| ·阻尼分析 | 第25-29页 |
| ·压膜阻尼 | 第26-27页 |
| ·滑膜阻尼 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 动态下MEMS谐振器的偏移量仿真 | 第30-41页 |
| ·双端固支梁式谐振器 | 第30-32页 |
| ·ANSYS仿真 | 第30-31页 |
| ·数据分析 | 第31-32页 |
| ·圆形酒杯式谐振器 | 第32-36页 |
| ·ANSYS仿真 | 第33页 |
| ·数据分析 | 第33-36页 |
| ·方形角支撑式谐振器 | 第36-39页 |
| ·ANSYS仿真 | 第37页 |
| ·数据分析 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 酒杯式谐振器偏移量分析及阻尼系数研究 | 第41-50页 |
| ·偏移量与Q值 | 第41-46页 |
| ·Q值公式推导 | 第41-44页 |
| ·偏移量对Q值的影响 | 第44-46页 |
| ·偏移量与锚点位置 | 第46-47页 |
| ·空气阻尼系数研究 | 第47-49页 |
| ·结构分析 | 第47-48页 |
| ·阻尼系数推导 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 酒杯式谐振器间隙空气特性分析 | 第50-60页 |
| ·系统模型 | 第50-56页 |
| ·怒森数分析 | 第51页 |
| ·雷诺方程建立 | 第51-54页 |
| ·雷诺方程求解 | 第54-56页 |
| ·压力分布计算 | 第56-58页 |
| ·扩张阶段 | 第56-57页 |
| ·收缩阶段 | 第57-58页 |
| ·压力分布分析 | 第58-59页 |
| ·圆盘半径和厚度对压力分布的影响 | 第58页 |
| ·间隙中距对压力分布的影响 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第6章 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·论文总结 | 第60-61页 |
| ·论文中的不足和展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录 | 第67页 |
