静电刚度谐振式微加速度计相关技术研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| ·问题的提出及研究意义 | 第9-13页 |
| ·问题的提出 | 第11-12页 |
| ·研究的意义 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-22页 |
| ·研究的内容 | 第22-25页 |
| 2 静电刚度谐振式微加速度计结构理论分析 | 第25-43页 |
| ·静电负刚度的形成及加速度计动力学原理 | 第25-35页 |
| ·静电负刚度原理 | 第25-27页 |
| ·静电刚度谐振式微加速度计原理 | 第27-32页 |
| ·结构尺寸的确定及行为级仿真模型建立 | 第32-35页 |
| ·检测电压和振动幅度对加速度计性能影响 | 第35-39页 |
| ·检测电压对加速度计性能影响 | 第35-38页 |
| ·振动幅度对加速度计性能影响 | 第38-39页 |
| ·差分结构模态分析 | 第39-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 3 谐振式微加速度计的制造与同频干扰的抑制 | 第43-63页 |
| ·工艺制造、几何参数测试及封装 | 第43-49页 |
| ·工艺制造流程及版图设计 | 第43-45页 |
| ·几何参数测量及封装 | 第45-49页 |
| ·开环特性测试方法 | 第49-51页 |
| ·同频干扰及抑制方法 | 第51-60页 |
| ·同频干扰的发现 | 第51-54页 |
| ·同频干扰的抑制方法 | 第54-60页 |
| ·小结 | 第60-63页 |
| 4 微机械谐振传感器的自激驱动控制 | 第63-99页 |
| ·微机械谐振传感器的自激控制原理及分析方法 | 第63-68页 |
| ·微谐振机械传感器的自激控制原理 | 第63-65页 |
| ·微机械谐振传感器闭环控制的分析方法 | 第65-68页 |
| ·微机械谐振传感器的自激控制及仿真验证 | 第68-89页 |
| ·无PI 控制器的自激驱动 | 第68-75页 |
| ·有PI 控制器的自激驱动 | 第75-81页 |
| ·自激驱动控制实验验证及频率稳定性分析 | 第81-89页 |
| ·自激驱动控制的非线性反馈环设计及仿真验证 | 第89-97页 |
| ·函数描述法应用条件 | 第89-90页 |
| ·极限环设计思想及仿真 | 第90-97页 |
| ·小结 | 第97-99页 |
| 5 基于锁相技术的微机械谐振传感器驱动控制 | 第99-133页 |
| ·单一锁相环控制 | 第99-114页 |
| ·鉴相器为模拟乘法器的频率跟踪控制 | 第99-108页 |
| ·鉴相器为异或门的频率跟踪控制 | 第108-114页 |
| ·幅度和频率的混合控制 | 第114-132页 |
| ·无PI 控制器的幅度频率混合控制 | 第115-123页 |
| ·有PI 控制器的幅度频率混合控制 | 第123-132页 |
| ·小结 | 第132-133页 |
| 6 静电刚度谐振微加速度计的实验测试 | 第133-145页 |
| ·谐振式微加速度计的开环测试 | 第133-139页 |
| ·谐振式微加速度计的静态电容测试 | 第133-138页 |
| ·谐振式微加速度计的开环特性扫频测试 | 第138-139页 |
| ·谐振式微加速度计的闭环测试 | 第139-142页 |
| ·加速度计的灵敏度测试 | 第139-141页 |
| ·加速度计的闭环频率稳定性测试 | 第141-142页 |
| ·小结 | 第142-145页 |
| 7 总结与展望 | 第145-147页 |
| ·论文总结及主要创新点 | 第145-146页 |
| ·后续研究工作展望 | 第146-147页 |
| 致谢 | 第147-149页 |
| 参考文献 | 第149-157页 |
| 附录 | 第157页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表录用论文目录 | 第157页 |
| B. 作者在攻读学位期间取得的科研成果目录 | 第157页 |
