| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·课题来源、目的及意义 | 第8页 |
| ·背景和现状 | 第8-18页 |
| ·本文的研究内容 | 第18-20页 |
| 2 MEMS微结构的特征分类与提取方法 | 第20-39页 |
| ·微结构的特征分类 | 第20-24页 |
| ·微结构评定基准面提取基本方法 | 第24-28页 |
| ·台阶特征微结构提取方法 | 第28-37页 |
| ·阵列特征微结构提取方法 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 3 台阶特征微结构的评定方法 | 第39-60页 |
| ·台阶特征微结构系列评定参数 | 第39-41页 |
| ·台阶特征微结构高度宽度的评定 | 第41-46页 |
| ·台阶特征微结构侧壁粗糙度的评定 | 第46-51页 |
| ·实例研究 | 第51-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 4 具有台阶特征微结构的微流体芯片特征的提取和评定 | 第60-69页 |
| ·微流体芯片制作制作方法与影响分析 | 第60-62页 |
| ·微流体芯片的评定参数 | 第62-64页 |
| ·实例分析 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 5 阵列特征微结构的评定方法 | 第69-80页 |
| ·阵列特征微结构的评定参数 | 第69-73页 |
| ·阵列特征微结构的评定方法 | 第73-77页 |
| ·阵列特征微结构的倾斜纠正方法 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 6 具有阵列特征微结构的微透镜阵列的特征的提取与评定 | 第80-94页 |
| ·微透镜阵列微结构的制作方法与影响分析 | 第80-81页 |
| ·微透镜阵列结构特征的评定参数 | 第81-84页 |
| ·微透镜阵列的评定 | 第84-87页 |
| ·实例分析 | 第87-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 7 总结 | 第94-96页 |
| ·全文总结 | 第94页 |
| ·展望及对今后工作的建议 | 第94-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-104页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第104页 |