| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-37页 |
| ·MEMS技术的研究进展 | 第11-14页 |
| ·MEMS简介 | 第11页 |
| ·MEMS发展状况 | 第11-12页 |
| ·MEMS加工工艺 | 第12-13页 |
| ·MEMS技术的特点 | 第13-14页 |
| ·MEMS研究方向 | 第14页 |
| ·微泵与微阀研究的意义 | 第14-16页 |
| ·微流控系统 | 第15-16页 |
| ·微泵 | 第16页 |
| ·微阀 | 第16页 |
| ·微泵的研究现状 | 第16-27页 |
| ·压电微泵 | 第17-22页 |
| ·压电片式有阀微泵 | 第18-19页 |
| ·压电堆式有阀微泵 | 第19页 |
| ·往复式无阀压电微泵 | 第19-22页 |
| ·热气致动微泵 | 第22页 |
| ·双金属致动微泵 | 第22-23页 |
| ·形状记忆合金微泵 | 第23-24页 |
| ·静电微泵 | 第24-25页 |
| ·电磁微泵 | 第25-26页 |
| ·非机械式微泵 | 第26-27页 |
| ·电渗泵 | 第26页 |
| ·基于粘性的微泵 | 第26-27页 |
| ·微阀的研究现状 | 第27-29页 |
| ·主动式微阀 | 第27页 |
| ·被动式微阀 | 第27-29页 |
| ·本论文的主要目标和任务 | 第29-30页 |
| ·理论模型与分析 | 第30页 |
| ·微泵与微阀的设计与研制 | 第30页 |
| ·微泵与微阀的性能测试 | 第30页 |
| 本章参考文献 | 第30-37页 |
| 第二章 被动式微型阀的特性研究 | 第37-79页 |
| ·微型阀的设计思路与微量流体理论 | 第37-44页 |
| ·微阀的设计思路 | 第37-38页 |
| ·微阀材料的选取 | 第38-39页 |
| ·微量流体的运动分析 | 第39-44页 |
| ·尺寸效应 | 第39-40页 |
| ·微量流体运动的流态 | 第40-41页 |
| ·表面张力对微量流体的影响 | 第41-43页 |
| ·挤压板间液体的阻尼分析 | 第43-44页 |
| ·微阀的设计 | 第44-70页 |
| ·对微阀性能的要求 | 第44-45页 |
| ·悬臂梁微型阀的设计 | 第45-63页 |
| ·悬臂梁微型阀的结构与工作原理 | 第45-46页 |
| ·悬臂梁微型阀振动理论分析 | 第46-47页 |
| ·悬臂梁阀片的有限元分析 | 第47-49页 |
| ·流体中悬臂梁微阀的动态分析 | 第49-63页 |
| ·具有阀臂微型阀的设计 | 第63-70页 |
| ·具有阀臂微型阀的结构类型 | 第63页 |
| ·具有阀臂微型阀的有限元分析 | 第63-65页 |
| ·具有阀臂微型阀的理论分析 | 第65-66页 |
| ·具有阀臂微型阀在阻尼作用下的一阶模态分析 | 第66-67页 |
| ·折叠弹性梁微型阀过流特性分析 | 第67-70页 |
| ·微型阀片的加工 | 第70-73页 |
| ·悬臂梁微型阀与具有折叠阀臂的微型阀加工工艺 | 第70-73页 |
| ·测试微型阀过流特性的装配工艺 | 第73页 |
| ·微型阀的性能测试 | 第73-75页 |
| ·微型阀性能测试实验装置 | 第73页 |
| ·两种微型阀的正向和反向过流特性分析 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75页 |
| 本章参考文献 | 第75-79页 |
| 第三章 微泵的设计理论与研制 | 第79-107页 |
| ·气液两用微泵的设计思路 | 第79-80页 |
| ·矩形板的振动理论分析 | 第80-81页 |
| ·矩形板的小挠度理论分析 | 第80-81页 |
| ·等厚矩形薄板方板承受均布载荷的大挠度理论分析 | 第81页 |
| ·等厚薄板的极限强度 | 第81页 |
| ·圆板的振动理论分析 | 第81-84页 |
| ·圆板的小挠度理论分析 | 第82-83页 |
| ·圆板的大挠度理论分析 | 第83-84页 |
| ·泵膜材料选取 | 第84-85页 |
| ·泵膜的数值分析 | 第85-88页 |
| ·泵膜的模态分析 | 第85页 |
| ·泵膜的静态分析 | 第85-88页 |
| ·驱动器的理论分析 | 第88-90页 |
| ·驱动方式的选取 | 第88-89页 |
| ·压电双晶片的分析 | 第89-90页 |
| ·微泵的流体分析 | 第90-93页 |
| ·微泵的耦合场分析 | 第93-98页 |
| ·泵膜与泵体的工艺 | 第98-102页 |
| ·PDMS泵膜的加工 | 第98页 |
| ·微泵泵体的加工工艺 | 第98-102页 |
| ·单主动阀微泵的工艺 | 第98-100页 |
| ·单主动阀与被动阀相结合微泵(DF-ZX07-03)的工艺 | 第100页 |
| ·夹心式两被动止回阀微泵(DF-ZX07-04)的工艺 | 第100-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 本章参考文献 | 第103-107页 |
| 第四章 微泵的性能测试 | 第107-136页 |
| ·微型泵的性能测试 | 第107-130页 |
| ·微流量液体的测量实验装置 | 第107-108页 |
| ·单主动阀与锥形管结构相结合微泵的性能测试 | 第108-114页 |
| ·单主动阀与直口结构相结合微泵的性能测试 | 第114-116页 |
| ·主动阀与被动阀相结合微泵的性能测试 | 第116-121页 |
| ·夹心式双被动阀微泵的性能测试 | 第121-125页 |
| ·微型泵输送气体的性能试验 | 第125-127页 |
| ·微型泵气泡容差的测量 | 第127-130页 |
| ·影响微泵性能的因素 | 第130-133页 |
| ·微阀对微泵性能的影响 | 第130-132页 |
| ·阀口对微泵性能的影响 | 第132-133页 |
| ·本章小结 | 第133-134页 |
| 本章参考文献 | 第134-136页 |
| 第五章 结论 | 第136-139页 |
| ·博士期间所做的研究工作及取得的研究成果 | 第136-137页 |
| ·本论文工作的创新 | 第137-138页 |
| ·问题和展望 | 第138-139页 |
| 附录 | 第139-141页 |
| 致谢 | 第141页 |