| 论文摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-16页 |
| 目录 | 第16-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-48页 |
| ·微电子机械系统简介 | 第20-21页 |
| ·MEMS制造技术 | 第21-28页 |
| ·光刻技术 | 第21-22页 |
| ·薄膜沉积技术 | 第22-23页 |
| ·刻蚀技术 | 第23-26页 |
| ·阳极键合技术 | 第26-27页 |
| ·LIGA加工技术 | 第27-28页 |
| ·MEMS技术的研究进展 | 第28-30页 |
| ·多孔硅材料的制造技术 | 第30-32页 |
| ·硅微通道板简介 | 第32-36页 |
| ·硅微通道板的基本结构 | 第32-33页 |
| ·硅微通道板的实际应用 | 第33-36页 |
| ·新能源概述 | 第36-38页 |
| ·世界能源概况 | 第36-37页 |
| ·新能源材料和器件发展的趋势 | 第37-38页 |
| ·本论文的研究内容 | 第38-40页 |
| ·本论文的研究意义 | 第40-41页 |
| 本章参考文献 | 第41-48页 |
| 第二章 基于硅微通道板的三维集流体的制备 | 第48-80页 |
| ·硅微通道板形成的理论基础 | 第48-51页 |
| ·硅的电化学刻蚀的基本原理 | 第48页 |
| ·多孔硅形成的理论模型 | 第48-50页 |
| ·硅微通道板的形成机理 | 第50-51页 |
| ·硅微通道板的制备工艺流程 | 第51-61页 |
| ·电化学硅深刻蚀 | 第61-71页 |
| ·电化学硅深刻蚀系统介绍 | 第61-65页 |
| ·电化学刻蚀的实验参数优化 | 第65-71页 |
| ·典型硅微通道板的SEM表征 | 第71-72页 |
| ·基于硅微通道板的三维集流体的制备 | 第72-76页 |
| ·化学镀镍的原理 | 第73-74页 |
| ·化学镀镍的工艺过程 | 第74-75页 |
| ·基于硅微通道板的三维集流体的表征 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 本章参考文献 | 第77-80页 |
| 第三章 基于硅微通道板的三维薄膜锂离子电池负极材料 | 第80-112页 |
| ·锂离子电池概述 | 第80-86页 |
| ·锂离子电池的发展历史 | 第80-81页 |
| ·锂离子电池的分类 | 第81页 |
| ·锂离子电池的工作原理 | 第81-83页 |
| ·锂离子电池的特点 | 第83-84页 |
| ·锂离子电池材料的研究现状 | 第84-86页 |
| ·三维薄膜锂离子电池概述 | 第86-90页 |
| ·薄膜锂离子电池 | 第86-87页 |
| ·三维薄膜锂离子电池 | 第87-89页 |
| ·本章工作的目的和意义 | 第89-90页 |
| ·基于硅微通道板的三维二硫化钼薄膜负极材料的制备 | 第90-92页 |
| ·硅微通道板的制备 | 第90-91页 |
| ·三维集流体的制备 | 第91页 |
| ·三维二硫化钼薄膜的制备 | 第91-92页 |
| ·基于硅微通道板的三维二硫化钼薄膜负极材料的表征 | 第92-94页 |
| ·基于三维二硫化钼薄膜负极的锂离子电池的制备 | 第94-96页 |
| ·电池组装设备和实验材料 | 第94-95页 |
| ·锂离子电池的组装 | 第95-96页 |
| ·基于三维二硫化钼薄膜负极的锂离子电池的性能 | 第96-99页 |
| ·电池的测试方法 | 第96-97页 |
| ·电池的充放电性能 | 第97-98页 |
| ·电池的循环性能 | 第98-99页 |
| ·硅微通道板和锂离子电池负极材料 | 第99-101页 |
| ·硅负极材料的性质 | 第99-100页 |
| ·硅微通道板用于锂离子电池负极材料的优势 | 第100-101页 |
| ·基于硅微通道板负极材料的锂离子电池的制备 | 第101-103页 |
| ·硅微通道板负极材料的制备 | 第101页 |
| ·硅微通道板负极材料的表征 | 第101-102页 |
| ·电池的装配 | 第102-103页 |
| ·硅微通道板负极材料的性能 | 第103-106页 |
| ·电池的测试方法 | 第103页 |
| ·电池的充放电性能 | 第103-105页 |
| ·电池的多次循环性能 | 第105-106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 本章参考文献 | 第108-112页 |
| 第四章 基于硅微通道板的钛酸锶钡超级电容器研究 | 第112-138页 |
| ·超级电容器概述 | 第112-114页 |
| ·超级电容器的分类 | 第112-113页 |
| ·超级电容器的特性 | 第113-114页 |
| ·双电层超级电容器简介 | 第114-117页 |
| ·双电层超级电容器的工作原理 | 第114-115页 |
| ·双电层超级电容器的研究现状 | 第115-116页 |
| ·钛酸锶钡的研究现状 | 第116-117页 |
| ·本章工作的目的和意义 | 第117-118页 |
| ·基于硅微通道板的钛酸锶钡超级电容器的制备 | 第118-123页 |
| ·药品和材料 | 第118-119页 |
| ·硅微通道板和三维集流体的制备 | 第119页 |
| ·三维BST薄膜的制备 | 第119-123页 |
| ·基于硅微通道板的钛酸锶钡超级电容器的表征 | 第123-125页 |
| ·三维BST薄膜的SEM表征 | 第123-124页 |
| ·三维BST薄膜的XRD表征 | 第124-125页 |
| ·基于硅微通道板的钛酸锶钡超级电容器的性能 | 第125-129页 |
| ·电容器的测试方法 | 第125页 |
| ·电容器的循环伏安特性 | 第125-126页 |
| ·电容器的充放电性能 | 第126-128页 |
| ·电容器的多次循环性能 | 第128-129页 |
| ·三维结构与平面结构钛酸锶钡超级电容器的对比 | 第129-134页 |
| ·平面结构钛酸锶钡电容器的制备 | 第129-131页 |
| ·平面结构钛酸锶钡电容器的循环伏安特性 | 第131-132页 |
| ·平面结构钛酸锶钡电容器的充放电特性 | 第132-134页 |
| ·本章小结 | 第134-135页 |
| 本章参考文献 | 第135-138页 |
| 第五章 基于硅微通道板的氢氧化镍(钴)超级电容器的研究 | 第138-176页 |
| ·法拉第超级电容器简介 | 第138-141页 |
| ·法拉第超级电容器的工作原理 | 第138-139页 |
| ·金属氧化物超级电容器的研究进展 | 第139-140页 |
| ·本章工作的目的和意义 | 第140-141页 |
| ·氢氧化镍(钴)简介 | 第141-143页 |
| ·氢氧化镍的性质 | 第141-142页 |
| ·氢氧化镍的制备方法 | 第142页 |
| ·氢氧化钴的性质 | 第142-143页 |
| ·氢氧化钴的制备方法 | 第143页 |
| ·基于硅微通道板的氢氧化镍(钴)超级电容器的制备 | 第143-145页 |
| ·硅微通道板的制备 | 第143页 |
| ·三维集流体的制备 | 第143-144页 |
| ·基于硅微通道板的氢氧化镍(钴)的制备 | 第144-145页 |
| ·基于硅微通道板的氢氧化镍(钴)超级电容器的表征 | 第145-154页 |
| ·基于硅微通道板的氢氧化镍超级电容器的SEM表征 | 第145-149页 |
| ·基于硅微通道板的氢氧化钴超级电容器的SEM表征 | 第149-152页 |
| ·基于硅微通道板的氢氧化镍(钴)超级电容器的XRD表征 | 第152-154页 |
| ·基于硅微通道板的氢氧化镍(钴)超级电容器的性能 | 第154-168页 |
| ·电容器的电化学性能的测试方法 | 第154页 |
| ·电容器的循环伏安特性 | 第154-157页 |
| ·电容器的放电性能 | 第157-159页 |
| ·电容器的容量计算 | 第159-162页 |
| ·电容器的大倍率循环性能 | 第162-165页 |
| ·电容器的多次循环性能 | 第165-168页 |
| ·本章小结 | 第168-170页 |
| 本章参考文献 | 第170-176页 |
| 第六章 结论与展望 | 第176-182页 |
| ·结论 | 第176-179页 |
| ·展望 | 第179-182页 |
| 附录 | 第182-186页 |
| 后记 | 第186页 |
