| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-16页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·研究背景和意义 | 第7页 |
| ·微型电源的发展概述 | 第7-15页 |
| ·微型电池 | 第7-9页 |
| ·微型发电装置 | 第9-15页 |
| ·本文的研究内容 | 第15-16页 |
| 2 压电式微型振动发电装置的基础理论分析 | 第16-25页 |
| ·压电式振动发电的物理基础 | 第16-21页 |
| ·振动源的形式 | 第16页 |
| ·压电效应 | 第16-17页 |
| ·压电材料 | 第17-20页 |
| ·压电方程 | 第20-21页 |
| ·压电振子 | 第21-23页 |
| ·压电振子的振动模式 | 第21-22页 |
| ·压电振子的支撑形式 | 第22页 |
| ·压电振子的等效电路 | 第22-23页 |
| ·压电式微型振动发电装置器件结构设计 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 悬臂梁结构的压电式微型振动发电装置的理论特性分析 | 第25-32页 |
| ·器件的振动理论分析 | 第25-28页 |
| ·悬臂梁弯曲振动的微分方程 | 第25-27页 |
| ·器件中PZT压电材料最佳设置位置 | 第27-28页 |
| ·器件的谐振频率 | 第28页 |
| ·器件的电能输出特性分析 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 4 悬臂梁结构的压电式微型振动发电装置的有限元仿真分析 | 第32-48页 |
| ·ANSYS软件的基本介绍 | 第32页 |
| ·器件有限元模型建立 | 第32-36页 |
| ·模型简化 | 第33页 |
| ·材料属性 | 第33-34页 |
| ·单元类型和网格划分 | 第34-35页 |
| ·约束条件 | 第35-36页 |
| ·有限元模型的生成 | 第36页 |
| ·器件的模态分析 | 第36-39页 |
| ·自由端不附加质量块时器件的模态分析 | 第36-38页 |
| ·自由端附加质量块时器件的模态分析 | 第38页 |
| ·结果分析 | 第38-39页 |
| ·器件的谐响应分析 | 第39-40页 |
| ·自由端不附加质量块时器件的谐响应分析 | 第39-40页 |
| ·自由端附加质量块时器件的谐响应分析 | 第40页 |
| ·结果分析 | 第40页 |
| ·器件的结构尺寸对输出电压和频率的影响 | 第40-46页 |
| ·改变复合压电悬臂梁的长度 | 第40-41页 |
| ·改变复合压电悬臂梁的宽度 | 第41-42页 |
| ·改变硅基板的厚度 | 第42-43页 |
| ·改变PZT材料的厚度 | 第43-44页 |
| ·改变硅质量块的长度 | 第44-46页 |
| ·改变硅质量块的厚度 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 5 器件制备工艺研究 | 第48-56页 |
| ·器件制备工艺流程 | 第48-51页 |
| ·相关工艺研究 | 第51-55页 |
| ·RCA清洗工艺 | 第51页 |
| ·SiO_2层的制备与刻蚀 | 第51-52页 |
| ·Pt/Ti电极的制备与刻蚀 | 第52-53页 |
| ·PZT膜的制备与刻蚀 | 第53-54页 |
| ·Si的刻蚀 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 结束语 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |