一种显微镜同轴观测的准分子激光加工系统
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题研究背景 | 第8-14页 |
| ·MEMS 技术 | 第8-9页 |
| ·国内外 MEMS 技术研究概况 | 第9-10页 |
| ·国外 MEMS 技术的发展状况 | 第9-10页 |
| ·我国的 MEMS 技术发展状况 | 第10页 |
| ·准分子激光微加工 | 第10-13页 |
| ·准分子激光器 | 第10页 |
| ·准分子激光微加工技术 | 第10-11页 |
| ·同轴观测准分子激光微加工 | 第11-13页 |
| ·微观机器视觉识别与图像处理 | 第13-14页 |
| ·微观机器视觉 | 第13页 |
| ·自动目标识别与图像处理在试验中的应用 | 第13-14页 |
| ·本论文研究内容和目标 | 第14-15页 |
| ·论文结构 | 第15-16页 |
| 第2章 硬件控制系统设计 | 第16-24页 |
| ·整体结构 | 第16页 |
| ·硬件控制系统设计 | 第16-23页 |
| ·硬件功能规划 | 第16-17页 |
| ·X、Y 轴平台运动控制模块 | 第17-20页 |
| ·X，Y 轴平台速度控制 | 第17-18页 |
| ·平台单片机的选取与控制 | 第18-20页 |
| ·照明系统与夹持系统的设计 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 光学元件的规划与搭建 | 第24-32页 |
| ·准分子同轴观测系统规划 | 第24-25页 |
| ·马蹄形平面镜镀膜的设计 | 第25-28页 |
| ·反射镜的原理 | 第25-26页 |
| ·镀膜马蹄形平面镜设计与实现 | 第26-28页 |
| ·聚焦物镜的设计与实现 | 第28-30页 |
| ·物镜设计原理 | 第28页 |
| ·石英物镜的设计与实现 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第4章 图像采集处理与自动控制软件设计实现 | 第32-52页 |
| ·灰度处理 | 第32-33页 |
| ·图像噪声及常用平滑算法 | 第33-47页 |
| ·图像噪声处理 | 第33-35页 |
| ·外部噪声 | 第33页 |
| ·内部噪声 | 第33-34页 |
| ·图像表现噪声 | 第34-35页 |
| ·噪声处理 | 第35-37页 |
| ·均值滤波 | 第35-36页 |
| ·中值滤波 | 第36-37页 |
| ·图像增强 | 第37-41页 |
| ·图像锐化 | 第38页 |
| ·梯度锐化 | 第38-39页 |
| ·拉普拉斯锐化 | 第39-41页 |
| ·阈值分割 | 第41-42页 |
| ·二值化 | 第41页 |
| ·大津法 | 第41-42页 |
| ·边缘检测 | 第42-47页 |
| ·Robert 算子 | 第42-43页 |
| ·Prewitt 算子 | 第43-44页 |
| ·sobel 算子 | 第44-45页 |
| ·kirsch 算子 | 第45-47页 |
| ·最小二乘法拟合加工中心线 | 第47-49页 |
| ·最小二乘法拟合原理 | 第47-48页 |
| ·加工通道中心线拟合 | 第48-49页 |
| ·上位机设计与串口通信协议 | 第49-50页 |
| ·上位机设计 | 第49页 |
| ·RS 232 串口 | 第49-50页 |
| ·串口通讯协议 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第5章 准分子激光微加工实验研究 | 第52-58页 |
| ·所使用的准分子激光器 | 第52页 |
| ·所使用的微动工作台与加工系统 | 第52页 |
| ·边缘检测的设定 | 第52-55页 |
| ·控制系统的软件实现 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
