| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 MEMS 技术概况 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS 工艺分类 | 第11-14页 |
| 1.3 MEMS 器件研究热点 | 第14-18页 |
| 1.4 视觉假体的研究现状 | 第18-22页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 单层人造视网膜电极的制备 | 第23-44页 |
| 2.1 单层人造视网膜电极的设计及材料选择 | 第23-29页 |
| 2.2 单层人造视网膜电极的制备工艺 | 第29-37页 |
| 2.3 单层人造视网膜电极的封装以及加工过程中的问题 | 第37页 |
| 2.4 单层人造视网膜电极的电学性能测试 | 第37-44页 |
| 第三章 单层人造视网膜电极新型制备工艺 | 第44-52页 |
| 3.1 传统聚酰亚胺图形化方法概述 | 第44-48页 |
| 3.2 基于牺牲层的聚酰亚胺图形化方法设想 | 第48-49页 |
| 3.3 单层人造视网膜电极新型制备工艺 | 第49-51页 |
| 3.4 实验结果 | 第51-52页 |
| 第四章 双层人造视网膜电极 | 第52-56页 |
| 4.1 双层人造视网膜电极的设计 | 第52-53页 |
| 4.2 双层人造视网膜电极的制备工艺流程 | 第53-54页 |
| 4.3 双层人造视网膜电极的制备结果 | 第54-55页 |
| 4.4 双层人造视网膜电极电学性能测试 | 第55-56页 |
| 第五章 成果、创新点与展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 攻读硕士学位期间的论文与专利 | 第63-65页 |