| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·微纳机电系统技术的概述 | 第8-13页 |
| ·微纳机电系统简介 | 第8-10页 |
| ·微纳系统的发展 | 第10-11页 |
| ·微纳系统的研究热点 | 第11-12页 |
| ·微纳系统的应用前景 | 第12-13页 |
| ·微纳执行器 | 第13-14页 |
| ·本论文相关的研究进展 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要内容及创新点 | 第15-17页 |
| 第二章 静电微执行器的 pull-in 机理 | 第17-24页 |
| ·引言 | 第17-18页 |
| ·扭转式微执行器的 pull-in 现象分析 | 第18-22页 |
| ·力法求解 | 第18-20页 |
| ·能量法求解 | 第20-22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第三章 Casimir 效应概述 | 第24-28页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·Casimir 效应的定义及特点 | 第24-25页 |
| ·Casimir 效应的研究进展及应用 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 扭转式静电纳执行器的静态 pull-in 现象 | 第28-41页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·扭转式纳执行器的理论模型 | 第28-29页 |
| ·忽略 Casimir 效应的 pull-in 特性 | 第29-30页 |
| ·只考虑 Casimir 效应的 pull-in 特性 | 第30-35页 |
| ·力法求解 | 第30-33页 |
| ·能量法求解 | 第33-35页 |
| ·考虑 Casimir 效应和外电压同时作用的 pull-in 特性 | 第35-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第五章 扭转式静电纳执行器的动态 pull-in 现象 | 第41-58页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·阶跃信号下的 pull-in 特性 | 第41-51页 |
| ·忽略 Casimir 效应的 pull-in 特性 | 第41-44页 |
| ·只考虑 Casimir 效应的 pull-in 特性 | 第44-46页 |
| ·考虑 Casimir 效应和外电压同时作用的 pull-in 特性 | 第46-51页 |
| ·调制信号下的 pull-in 特性 | 第51-57页 |
| ·忽略 Casimir 效应的 pull-in 特性 | 第51-54页 |
| ·只考虑 Casimir 效应的 pull-in 特性 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·工作总结 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 附录攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
