| 摘要 | 第2-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-25页 |
| 1.1 微机电系统（MEMS） | 第8-17页 |
| 1.1.1 MEMS 技术特点 | 第9-10页 |
| 1.1.2 MEMS 加工技术的主要分类 | 第10-12页 |
| 1.1.3 MEMS 的发展趋势及应用 | 第12-17页 |
| 1.2 MEMS 微继电器 | 第17-23页 |
| 1.2.1 驱动部分 | 第18-20页 |
| 1.2.2 自锁定部分 | 第20-23页 |
| 1.3 本课题的研究意义与研究内容 | 第23-25页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第23-24页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 MEMS 双稳态电热微驱动器结构设计与解析计算 | 第25-43页 |
| 2.1 结构设计及工作原理 | 第25-31页 |
| 2.1.1 电热驱动器 | 第25-26页 |
| 2.1.2 机械锁定 | 第26-31页 |
| 2.2 双稳态结构的解析计算 | 第31-43页 |
| 2.2.1 关于弹簧弹性系数的计算 | 第31-35页 |
| 2.2.2 第一种双稳态计算 | 第35-39页 |
| 2.2.3 第二种双稳态计算 | 第39-43页 |
| 第三章 器件制备工艺 | 第43-61页 |
| 3.1 通用金属锌牺牲层工艺 | 第43-53页 |
| 3.1.1 均匀性 | 第44-45页 |
| 3.1.2 镀层电镜照片 | 第45-47页 |
| 3.1.3 电极化曲线 | 第47-48页 |
| 3.1.4 硬度要求 | 第48-50页 |
| 3.1.5 应力要求 | 第50-51页 |
| 3.1.6 通用锌牺牲层工艺简介 | 第51-53页 |
| 3.2 器件制备工艺简述 | 第53-61页 |
| 3.2.1 驱动器制备流程 | 第53-55页 |
| 3.2.2 第一种双稳态制备工艺 | 第55-58页 |
| 3.2.3 第二种双稳态结构及驱动器集成制备 | 第58-61页 |
| 第四章 器件测试及实验结果 | 第61-64页 |
| 4.1 电热微驱动器性能测试 | 第61-62页 |
| 4.2 双稳态机构测试 | 第62-64页 |
| 第五章 结语与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 结语 | 第64页 |
| 5.2 展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文和申请的专利 | 第71-73页 |