| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-26页 |
| ·MEMS技术简介 | 第7-12页 |
| ·MEMS技术发展 | 第7-8页 |
| ·MEMS产品化与市场 | 第8-10页 |
| ·典型的MEMS工艺 | 第10-12页 |
| ·微机械加速度传感器 | 第12-23页 |
| ·加速度传感器工作原理 | 第12-13页 |
| ·几种常见类型的加速度传感器 | 第13-15页 |
| ·阈值加速度开关 | 第15-23页 |
| ·微机械加速度开关存在的问题 | 第23-25页 |
| ·本文的研究目的和工作内容安排 | 第25-26页 |
| 第二章 微机械执行器中的惯性-静电耦合特性分析 | 第26-42页 |
| ·静电驱动的基本原理 | 第26-36页 |
| ·电流控制模式 | 第28-30页 |
| ·电压控制模式 | 第30-33页 |
| ·电压控制模式下电源内阻和串联电阻的影响 | 第33-36页 |
| ·电容式传感器的惯性-静电耦合分析 | 第36-41页 |
| ·惯性耦合作用影响 | 第36-41页 |
| ·静态加速度响应分析 | 第36-38页 |
| ·动态加速度响应分析 | 第38-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 第三章 阈值可调的MEMS冲击加速度开关设计 | 第42-68页 |
| ·开关结构及工作原理 | 第42-43页 |
| ·悬臂梁型加速度开关特性分析 | 第43-54页 |
| ·开关静态特性分析 | 第44-47页 |
| ·悬臂梁的弹性系数分析 | 第44-45页 |
| ·静电驱动下悬臂梁小形变近似 | 第45-46页 |
| ·开关吸合(Pull-in)电压和闭合状态保持电压的分析 | 第46-47页 |
| ·开关动态特性分析 | 第47-49页 |
| ·开关瞬态特性分析 | 第49-54页 |
| ·无阻尼条件下,开关加速度输入响应解析表示 | 第50-52页 |
| ·开关响应时间分析 | 第52-54页 |
| ·开关特性的模拟与优化设计 | 第54-64页 |
| ·基于有限元模拟的开关静态吸合模型 | 第55-56页 |
| ·系统级模型 | 第56-64页 |
| ·开关的瞬态响应过程 | 第56-59页 |
| ·加速度开关阈值容差 | 第59-60页 |
| ·开关性能的影响因素分析 | 第60-64页 |
| ·加速度开关阵列器件结构设计 | 第64-67页 |
| ·压迫式接触(Press-on)结构设计 | 第64-66页 |
| ·交叉轴寄生效应 | 第66页 |
| ·抗过载能力 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 第四章 微机械开关阵列制作和封装 | 第68-82页 |
| ·微机械阈值加速度开关制作工艺流程 | 第68-70页 |
| ·关键工艺和工艺参数优化 | 第70-81页 |
| ·SOI材料选择 | 第70-71页 |
| ·阳极静电键合问题与解决 | 第71-78页 |
| ·阳极静电键合原理 | 第71-73页 |
| ·SOI-玻璃阳极静电键合原理分析 | 第73-74页 |
| ·键合过程中的气体放电 | 第74-77页 |
| ·SOI-玻璃阳极静电键合技术改进 | 第77-78页 |
| ·SiO_2掩埋层刻蚀技术改进 | 第78-81页 |
| ·微机械阈值加速度开关的封装 | 第81-82页 |
| 第五章 阈值可调MEMS冲击加速度开关的测试技术 | 第82-89页 |
| ·开关静电驱动电压测试 | 第82-83页 |
| ·开关冲击实验测试 | 第83-88页 |
| ·带缓冲垫的落槌系统设计 | 第84-86页 |
| ·冲击实验测试结果 | 第86-88页 |
| ·小结 | 第88-89页 |
| 第六章 一种低成本、低量程的微机械加速度开关 | 第89-101页 |
| ·机械开关的瞬态响应特性 | 第89-91页 |
| ·机械加速度开关结构设计 | 第91-99页 |
| ·机械加速度折叠梁弹性系数计算 | 第92-94页 |
| ·开关的振动模态 | 第94-96页 |
| ·开关阻尼系数特性分析与设计 | 第96页 |
| ·交叉轴寄生效应和抗过载能力 | 第96-99页 |
| ·机械加速度开关工艺流程 | 第99-100页 |
| ·小结 | 第100-101页 |
| 第七章 总结 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-109页 |
| 发表的论文与申请的专利 | 第109-110页 |
| 个人简历 | 第110-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |