静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·微机电系统的概念及优点 | 第10-11页 |
| ·微机电系统涉及学科和应用领域 | 第11-12页 |
| ·微机电系统的设计技术 | 第12-16页 |
| ·静电梳齿驱动的发展现状 | 第16-17页 |
| ·论文的研究内容 | 第17-18页 |
| ·论文的研究意义 | 第18-20页 |
| 2 静电梳齿驱动器的工作原理 | 第20-26页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·微驱动器分类 | 第20-21页 |
| ·静电驱动原理 | 第21-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 静电梳状微谐振器多域耦合分析 | 第26-49页 |
| ·静电梳状微谐振器工作原理 | 第26-27页 |
| ·降阶建模(ROM) | 第27-33页 |
| ·静电梳状微谐振器参数分析 | 第33-41页 |
| ·静电梳状微谐振器的边缘效应分析 | 第41-43页 |
| ·静电梳状微谐振器的动态仿真分析 | 第43-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4 进化算法 | 第49-60页 |
| ·遗传算法 | 第50-53页 |
| ·多目标遗传算法 | 第53-56页 |
| ·差分进化算法 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 梳状音叉式微陀螺的优化设计 | 第60-80页 |
| ·陀螺发展概述 | 第60页 |
| ·梳状音叉式微陀螺工作原理 | 第60-65页 |
| ·梳状音叉式微陀螺设计分析 | 第65-76页 |
| ·基于遗传算法的梳状音叉式微陀螺优化设计 | 第76-77页 |
| ·基于差分进化算法的梳状音叉式微陀螺优化设计 | 第77-78页 |
| ·优化结果比较 | 第78-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 6 梳齿式微机械加速度计的设计优化 | 第80-111页 |
| ·微机械加速度计概述 | 第80-82页 |
| ·梳齿式微机械加速度计工作原理 | 第82-86页 |
| ·梳齿式微机械加速度计设计分析 | 第86-96页 |
| ·梳齿式微机械加速度计优化模型的建立 | 第96-104页 |
| ·基于多目标遗传算法的梳齿微机械加速度计优化设计 | 第104-106页 |
| ·基于差分进化算法的梳齿微机械加速度计优化设计 | 第106-109页 |
| ·优化结果比较 | 第109-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 7 总结与展望 | 第111-113页 |
| ·总结 | 第111-112页 |
| ·展望 | 第112-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-122页 |
| 附录1 矩形截面杆扭转系数β | 第122-123页 |
| 附录2 攻读学位期间发表论文目录 | 第123页 |
