| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-32页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 微针的作用 | 第9-12页 |
| 1.3 三维微加工技术简介 | 第12-25页 |
| 1.3.1 深刻蚀工艺 | 第12-17页 |
| 1.3.2 常用准三维微加工技术 | 第17-21页 |
| 1.3.3 其他几种三维微加工技术 | 第21-25页 |
| 1.3.4 总结 | 第25页 |
| 1.4 微针分类和加工方法 | 第25-30页 |
| 1.4.1 微针的分类 | 第25页 |
| 1.4.2 微针的制作方法 | 第25-30页 |
| 1.5 本论文的研究意义及主要研究内容 | 第30-31页 |
| 1.5.1 研究目的及意义 | 第30-31页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第31页 |
| 1.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第二章 基于背面曝光制作微针 | 第32-55页 |
| 2.1 引言 | 第32-33页 |
| 2.2 光的衍射 | 第33-41页 |
| 2.2.1 衍射问题概述 | 第33-34页 |
| 2.2.2 惠更斯-菲涅耳原理 | 第34-36页 |
| 2.2.3 基尔霍夫衍射积分公式 | 第36-41页 |
| 2.3 基于背面曝光衍射模型一般分析 | 第41-45页 |
| 2.4 基于实验背面曝光的物理光学模型研究 | 第45-54页 |
| 2.4.1 实际模型的背面曝光光强分布模型 | 第45-48页 |
| 2.4.2 背面曝光光刻胶外围轮廓模拟 | 第48-51页 |
| 2.4.3 背面曝光实验及实验参数模拟 | 第51-54页 |
| 2.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第三章 基于倾斜旋转曝光制作微针 | 第55-68页 |
| 3.1 利用倾斜旋转光刻制作实心微针 | 第55-63页 |
| 3.1.1 倾斜旋转光刻实验台 | 第55页 |
| 3.1.2 倾斜旋转光刻的基本原理 | 第55-56页 |
| 3.1.3 制作 PDMS 实心微针 | 第56-59页 |
| 3.1.4 制作金属实心微针 | 第59-63页 |
| 3.2 利用倾斜旋转曝光制作环氧树脂空心微针 | 第63-67页 |
| 3.2.1 制作环氧树脂空心微针的工艺流程 | 第63-64页 |
| 3.2.2 倾斜旋转光刻制作三维圆锥形微针的应用实验 | 第64-66页 |
| 3.2.3 制作环氧树脂空心微针实验的分析和结论 | 第66-67页 |
| 3.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 4.1 论文研究工作总结 | 第68页 |
| 4.2 本文创新点小结 | 第68-69页 |
| 4.3 未来工作展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文专利 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |