| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 微机电系统（MEMS） | 第10-16页 |
| 1.1.1 MEMS 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.1.2 MEMS 的发展趋势及应用 | 第12-16页 |
| 1.2 微驱动器的研究现状 | 第16-21页 |
| 1.2.1 微驱器的分类以及研究现状 | 第16-19页 |
| 1.2.2 传统电热微驱动器的研发现状 | 第19-20页 |
| 1.2.3 传统电热微驱动器的存在的问题 | 第20-21页 |
| 1.3 本课题的研究意义与研究内容 | 第21-23页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第21页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 新型复合结构电热微驱动器的结构设计与有限元分析 | 第23-39页 |
| 2.1 结构设计及工作原理分析 | 第23-27页 |
| 2.1.1 整体结构及工作原理 | 第23-25页 |
| 2.1.2 材料选择 | 第25页 |
| 2.1.3 结构参数的确定 | 第25-27页 |
| 2.2 ANSYS 有限元分析 | 第27-39页 |
| 2.2.1 模型建立 | 第28页 |
| 2.2.2 边界条件 | 第28-29页 |
| 2.2.3 材料参数设定 | 第29-30页 |
| 2.2.4 仿真结果 | 第30-39页 |
| 第三章 新型复合结构电热微驱动器的制备及性能测试 | 第39-55页 |
| 3.1 单元器件制备工艺流程 | 第39-55页 |
| 3.1.1 整体工艺流程简介 | 第39-43页 |
| 3.1.2 单项工艺 | 第43-55页 |
| 第四章 实验结果 | 第55-62页 |
| 4.1 实验结果小结 | 第55页 |
| 4.2 电热微驱动器的形貌与加电测试结果 | 第55-61页 |
| 4.2.1 光学照片和电镜照片 | 第55-57页 |
| 4.2.2 加电测试 | 第57-61页 |
| 4.3 结果讨论 | 第61-62页 |
| 第五章 结语与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 结语 | 第62页 |
| 5.2 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文和申请的专利 | 第69页 |