基于石墨烯的纳机电谐振器的仿真与工艺设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·石墨烯概述 | 第8-10页 |
| ·石墨烯的简介及基本性质 | 第8-9页 |
| ·石墨烯的国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·纳机电系统 | 第10-12页 |
| ·纳机电系统的定义 | 第10-11页 |
| ·纳机电系统的研究现状 | 第11-12页 |
| ·纳机电谐振器概述 | 第12-14页 |
| ·纳机电谐振器的研究现状 | 第12-13页 |
| ·石墨烯纳机电谐振器的研究现状 | 第13-14页 |
| ·本文研究的目的与意义 | 第14页 |
| ·论文的主要工作 | 第14-16页 |
| 第二章 纳机电谐振器的理论基础与仿真分析 | 第16-26页 |
| ·纳机电谐振器的理论基础 | 第16-18页 |
| ·纳机电谐振器的工作原理 | 第16页 |
| ·纳机电谐振器外部激励方式 | 第16-18页 |
| ·静电力驱动双端固支纳米梁的运动方程 | 第18-19页 |
| ·纳米梁的宏观连续体理论描述 | 第18-19页 |
| ·运动方程非线性项 | 第19页 |
| ·数值求解方法 | 第19-23页 |
| ·数值求解方法 | 第20-22页 |
| ·数值解法验证 | 第22-23页 |
| ·仿真与结果分析 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 第三章 分子动力学仿真概述 | 第26-36页 |
| ·分子动力学简介 | 第26-27页 |
| ·分子动力学概念 | 第26页 |
| ·分子动力学发展历史 | 第26-27页 |
| ·分子动力学适用范围 | 第27页 |
| ·分子动力学仿真的基本流程 | 第27-28页 |
| ·分子动力学术语的详细阐述 | 第28-33页 |
| ·常用分子动力学仿真软件 | 第33页 |
| ·本文仿真的软硬件环境 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章 石墨烯分子动力学仿真及分析 | 第36-54页 |
| ·石墨烯物理模型 | 第36-39页 |
| ·石墨烯晶格结构 | 第36-37页 |
| ·石墨烯谐振梁模型 | 第37-38页 |
| ·仿真参数及单位制 | 第38-39页 |
| ·弛豫过程 | 第39-44页 |
| ·仿真方法及过程 | 第39-40页 |
| ·仿真结果及分析 | 第40-44页 |
| ·应力加载过程 | 第44-47页 |
| ·仿真方法及过程 | 第44-45页 |
| ·仿真结果及分析 | 第45-47页 |
| ·谐振频率仿真及分析 | 第47-52页 |
| ·仿真参数设置 | 第48页 |
| ·仿真结果 | 第48-51页 |
| ·仿真分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 石墨烯纳机电谐振器工艺设计 | 第54-60页 |
| ·静电力驱动石墨烯纳谐振器结构设计 | 第54-55页 |
| ·工艺设计方案 | 第55-58页 |
| ·石墨烯制备 | 第55-56页 |
| ·石墨烯转印 | 第56-57页 |
| ·基底的后续处理 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·论文总结 | 第60页 |
| ·存在问题及前景展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 作者在读期间科研成果 | 第68-70页 |
| 附录一 | 第70-72页 |
| 附录二 | 第72-76页 |
| 附录三 | 第76-79页 |
