| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·选题背景 | 第8-9页 |
| ·MEMS技术概念及特点 | 第9-10页 |
| ·MEMS技术在现代引信中的应用 | 第10-11页 |
| ·国内外MEMS万向开关研究现状 | 第11-16页 |
| ·MEMS惯性开关种类介绍 | 第11-12页 |
| ·国内MEMS万向开关研究现状 | 第12-14页 |
| ·国外MEMS万向开关研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文主要研究工作 | 第16-18页 |
| 2 引信MEMS万向触发开关的环境力分析和指标要求 | 第18-25页 |
| ·惯性开关在引信中的应用环境 | 第18-22页 |
| ·勤务处理环境 | 第18页 |
| ·发射环境 | 第18-21页 |
| ·飞行环境 | 第21页 |
| ·撞击目标环境 | 第21-22页 |
| ·MEMS万向触发开关的指标要求 | 第22-24页 |
| ·万向性要求 | 第22页 |
| ·闭合阈值要求 | 第22-23页 |
| ·快速响应要求 | 第23页 |
| ·可靠闭合要求 | 第23页 |
| ·抗过载要求 | 第23-24页 |
| ·小尺寸要求 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 MEMS万向触发开关结构设计 | 第25-33页 |
| ·MEMS万向触发开关理论分析 | 第25-28页 |
| ·MEMS万向触发开关的工作原理 | 第25页 |
| ·惯性碰撞开关的动力学模型 | 第25-28页 |
| ·MEMS万向开关弹簧质量系统结构设计 | 第28-29页 |
| ·弹簧质量系统支撑形式设计 | 第28页 |
| ·支撑弹簧的设计 | 第28-29页 |
| ·质量块及连接梁的设计 | 第29页 |
| ·MEMS万向触发开关柔性电极设计 | 第29-31页 |
| ·MEMS万向触发开关的整体结构 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 有限元仿真分析与结构优化设计 | 第33-53页 |
| ·有限元法与ANSYS Workbench Environment | 第33-34页 |
| ·有限元法介绍 | 第33页 |
| ·ANSYS Workbench Environment的优点 | 第33-34页 |
| ·弹簧质量系统的仿真分析与优化设计 | 第34-44页 |
| ·两种支撑形式的模态分析比较 | 第34-35页 |
| ·支撑弹簧特征参数优化设计 | 第35-38页 |
| ·位移响应分析与开关阈值设计 | 第38-41页 |
| ·大着角响应分析 | 第41-44页 |
| ·柔性电极的仿真分析与优化设计 | 第44-48页 |
| ·刚性接触与柔性接触的比较 | 第44-46页 |
| ·柔性电极弹簧刚度与闭合时间的关系 | 第46-48页 |
| ·MEMS万向触发开关的响应时间 | 第48-49页 |
| ·加速度脉宽与响应时间的关系 | 第48-49页 |
| ·加速度幅值与响应时间的关系 | 第49页 |
| ·MEMS万向触发开关的抗高过载性能 | 第49-52页 |
| ·柔性电极的抗过载分析 | 第50-51页 |
| ·支撑弹簧的抗过载辅助设计与分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 MEMS万向触发开关的加工工艺与样品检测 | 第53-58页 |
| ·MEMS结构的加工工艺技术 | 第53-54页 |
| ·LIGA加工技术 | 第53-54页 |
| ·UV-LIGA技术 | 第54页 |
| ·MEMS万向触发开关加工工艺流程介绍 | 第54-57页 |
| ·加工工艺流程介绍 | 第54-56页 |
| ·样品检测 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 6 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·全文总结 | 第58-59页 |
| ·主要创新点 | 第59页 |
| ·后续工作展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 附录 | 第64页 |
