| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·用于介电泳操纵的电极研究现状 | 第9-14页 |
| ·C-MEMS工艺制备碳微电极阵列的研究概况 | 第14-16页 |
| ·论文的研究内容 | 第16-18页 |
| 2 介电泳原理及理论研究 | 第18-31页 |
| ·介电泳的原理 | 第18-20页 |
| ·微颗粒的有效诱导偶极矩 | 第20-27页 |
| ·介电泳力的计算模型 | 第27-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 3 用于介电泳操纵的C-MEMS电极设计 | 第31-52页 |
| ·电极设计的理论基础 | 第31-34页 |
| ·电场仿真物理模型 | 第34-35页 |
| ·电场分布模拟结果 | 第35-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 4 C-MEMS电极的制备工艺研究 | 第52-60页 |
| ·微机械嵌合结构增粘机理研究 | 第53-56页 |
| ·微机械嵌合结构增粘实验研究 | 第56-58页 |
| ·改进的C-MEMS工艺的流程 | 第58-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 5 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·全文总结 | 第60-61页 |
| ·展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第67页 |