| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·微纳器件理论 | 第7-11页 |
| ·MEMS 简述 | 第7-9页 |
| ·MEMS 发展 | 第9-10页 |
| ·NEMS 简述 | 第10页 |
| ·NEMS 应用 | 第10-11页 |
| ·执行器简介 | 第11-12页 |
| ·本课题国内外研究现状 | 第12页 |
| ·本论文的主要内容 | 第12-14页 |
| 第二章 Pull-in 现象与 Casimir 效应 | 第14-21页 |
| ·Pull-in 现象简介 | 第14-15页 |
| ·Casimir 效应简介 | 第15-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 纳米级执行器静态 Pull-in 现象分析 | 第21-33页 |
| ·平行平板式执行器模型和方程 | 第21-23页 |
| ·系统静态 Pull-in 现象分析 | 第23-30页 |
| ·仅考虑静电力作用 | 第23-25页 |
| ·仅考虑 Casimir 力作用 | 第25-26页 |
| ·考虑静电力和 Casimir 力共同作用 | 第26-30页 |
| ·极板尺寸对静态 Pull-in 参数的影响 | 第30-31页 |
| ·极板面积对静态 Pull-in 参数的影响 | 第30页 |
| ·极板初始间距 对静态 Pull-in 参数的影响 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第四章 纳米级执行器动态 Pull-in 现象分析 | 第33-49页 |
| ·无阻尼影响的阶跃信号响应和 Pull-in 机理分析 | 第33-41页 |
| ·仅考虑静电力作用 | 第33-37页 |
| ·考虑静电力和 Casimir 力作用 | 第37-41页 |
| ·极板尺寸对动态 Pull-in 参数的影响 | 第41-42页 |
| ·极板面积对动态 Pull-in 参数的影响 | 第41页 |
| ·极板初始间距 对动态 Pull-in 参数的影响 | 第41-42页 |
| ·考虑阻尼影响的阶跃信号响应和 Pull-in 机理分析 | 第42-47页 |
| ·仅考虑静电力作用 | 第42-45页 |
| ·考虑静电力和 Casimir 力共同作用 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 总结和展望 | 第49-51页 |
| ·工作总结 | 第49页 |
| ·展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 附录 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
