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磁控溅射法制备MgAlSnO薄膜及其特性的研究
P型GaN基材料电学性能的研究
单晶SiC基片超精密加工表面及亚表面损伤研究
铟锌共掺及掺氟氧化亚铜的制备与性能的研究
8英寸薄层硅外延片工艺设计与实现
光学投影式光刻系统中套刻对准方法研究
数字光刻物镜设计与毛化微加工调Q改进技术研究
非极性AlGaN材料生长及探测器制备技术研究
超小型半导体器件的设计和仿真
单晶SiC基片超精密磨粒加工机理研究
半导体制造中组合设备的建模、优化调度与控制
高能劳厄单色器晶体压弯机构的优化设计
水分子诱导氢终止硅的老化及荧光光谱红移的理论研究
高In组分InGaN化合物半导体的生长与表征
功率集成器件热载流子退化测试系统设计及实现
电力半导体功率模块应用失效分析研究
半导体芯片用多晶硅材料提纯新工艺物理冶金三步法
稀土Eu、Nd、Y掺杂氧化物半导体CuAlO2的制备及性能研究
基于芬顿反应的单晶SiC化学机械抛光液研究
全氧化物PN结和多铁隧道结的制备与性能研究
二氧化钛/大尺寸多孔窄带隙半导体复合材料制备及其可见光催化性能研究
直拉硅中氧相关缺陷的研究
低维ZnO杂质缺陷行为及p型掺杂研究
In2O3基稀磁半导体薄膜的离子注入制备和特性研究
表面等离子体增强氧化锌回音壁模微腔受激辐射的研究
划片机精密测高系统的设计
砷化镓近红外光致发光的核酸调控和生物传感研究
光栅光刻机干涉条纹周期和波前的测量与控制研究
非极性与半极性GaN基氮化物的外延生长及表征研究
MgO材料电子结构和光学性质研究
非极性GaN材料的MOCVD生长及表征
300mm硅片化学机械抛光工艺参数研究
铜单晶衬底上GaN薄膜的ECR-PEMOCVD低温生长研究
PESE和F-NDI有机半导体薄膜的结构调控与构效关系
不确定环境下半导体生产线关键参数预测与调度方法研究
半导体薄膜材料等离激元表面增强拉曼散射的研究
光学表面离子束加工的材料去除机理及表面演化机制研究
Ⅲ-Ⅴ族半导体纳米线的掺杂制备及其在光探测器中的应用研究
具有高载流子迁移率的二维半导体材料的设计与模拟
1111-型新型块材稀磁半导体:(La1-yAEy)(Zn1-xMnx)AsO（AE=Ca,Sr,Ba）的制备和物性研究
氧化锌微米柱阵列的缺陷及发光性质研究
Ⅲ-Ⅴ族半导体纳米线结构稳定性与电子性质的第一性原理研究
半导体制冷片特性参数的测试方法及系统研究
IGZO薄膜性能的研究及改善
水溶性Cu2ZnSn(SxSe1-x)4纳米晶墨水的可控合成及光电性能研究
Cu2S准一维纳米结构的合成及其光电特性研究
GaAs光导开关的特性和损伤机理研究
Co掺杂ZnO纳米线的制备及其磁性和光学性能的研究
低维半导体材料电子结构和磁学特性研究
DSOI器件的单粒子瞬态效应研究
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