功率集成器件热载流子退化测试系统设计及实现
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 功率集成器件热载流子退化及其研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2 功率集成器件热载流子退化测试方法 | 第12-15页 |
| 1.2.1 直流电流电压测试方法 | 第12-13页 |
| 1.2.2 电荷泵测试方法 | 第13-15页 |
| 1.3 功率集成器件热载流子退化测试系统研究现状 | 第15-17页 |
| 1.4 研究内容与设计指标 | 第17-20页 |
| 第二章 热载流子退化测试系统设计方案 | 第20-32页 |
| 2.1 功率集成器件热载流子退化测试需求分析 | 第20-22页 |
| 2.1.1 热载流子退化测试流程 | 第20-21页 |
| 2.1.2 热载流子退化测试需求 | 第21-22页 |
| 2.2 动态应力发生模块设计方案 | 第22-28页 |
| 2.2.1 DDS模块设计方案 | 第22-26页 |
| 2.2.2 脉宽调节模块设计方案 | 第26-27页 |
| 2.2.3 数模转换模块设计方案 | 第27页 |
| 2.2.4 幅值调节模块设计方案 | 第27-28页 |
| 2.3 过压保护模块设计方案 | 第28-29页 |
| 2.4 器件电学参数监测模块设计方案 | 第29-30页 |
| 2.5 测试系统总体框架 | 第30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 动态应力发生模块设计 | 第32-42页 |
| 3.1 基于DDS技术的波形频率调节模块设计 | 第32-35页 |
| 3.1.1 相位累加器 | 第32-33页 |
| 3.1.2 波形查找单元 | 第33-34页 |
| 3.1.3 频率控制单元 | 第34页 |
| 3.1.4 模块仿真验证 | 第34-35页 |
| 3.2 波形脉宽调节模块设计 | 第35-36页 |
| 3.2.1 按键扫描单元 | 第35页 |
| 3.2.2 延时单元 | 第35页 |
| 3.2.3 波形合成单元 | 第35-36页 |
| 3.2.4 模块验证仿真 | 第36页 |
| 3.3 波形数模转换模块设计 | 第36-38页 |
| 3.3.1 数模转换芯片的选择 | 第37页 |
| 3.3.2 IN转换电路设计 | 第37-38页 |
| 3.4 程控波形幅值调节模块设计 | 第38-39页 |
| 3.5 顶层设计及仿真 | 第39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-42页 |
| 第四章 过压保护及供电模块设计 | 第42-48页 |
| 4.1 SCR-继电器过压保护模块设计 | 第42-44页 |
| 4.1.1 SCR-继电器过压保护模块工作原理 | 第42-43页 |
| 4.1.2 SCR-继电器过压保护模块电路设计 | 第43-44页 |
| 4.2 芯片供电模块设计 | 第44-46页 |
| 4.2.1 内部芯片供电电路设计 | 第44-45页 |
| 4.2.2 基准电压源电路设计 | 第45-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 第五章 器件电学参数监测模块设计 | 第48-52页 |
| 5.1 器件测试应力变化模块设计 | 第48-50页 |
| 5.1.1 器件栅极测试应力变化模块设计 | 第48-49页 |
| 5.1.2 器件漏极测试应力变化模块设计 | 第49-50页 |
| 5.2 器件参数测试模块设计 | 第50-51页 |
| 5.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 热载流子退化测试系统实现及应用验证 | 第52-62页 |
| 6.1 测试系统的硬件实现 | 第52-55页 |
| 6.1.1 软件逻辑部分硬件实现 | 第52-53页 |
| 6.1.2 硬件电路板部分硬件实现 | 第53-55页 |
| 6.1.3 完整测试系统硬件实现 | 第55页 |
| 6.2 测试系统的功能以及性能测试 | 第55-59页 |
| 6.2.1 过压保护模块性能测试 | 第55-56页 |
| 6.2.2 动态应力发生模块性能测试 | 第56-57页 |
| 6.2.3 器件电学参数监测模块性能测试 | 第57-59页 |
| 6.3 测试系统的应用验证 | 第59-60页 |
| 6.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 第七章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 7.1 总结 | 第62-63页 |
| 7.2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第70页 |
