| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-32页 |
| 1.1 钙钛矿氧化物材料简介 | 第11-12页 |
| 1.2 氧化物二极管 | 第12-15页 |
| 1.2.1 SrTiO_3材料的特性及其掺杂类型 | 第12-13页 |
| 1.2.2 PN结的形成及其Ⅳ特性 | 第13-15页 |
| 1.3 隧道结器件及其工作原理 | 第15-24页 |
| 1.3.1 磁隧道结 | 第16-19页 |
| 1.3.2 铁电隧道结 | 第19-22页 |
| 1.3.3 多铁隧道结 | 第22-24页 |
| 1.4 本论文工作内容、目的和意义 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-32页 |
| 第二章 制备工艺与分析方法 | 第32-47页 |
| 2.1 激光分子束外延制备薄膜异质结构 | 第32-36页 |
| 2.1.1 脉冲激光沉积系统 | 第32-34页 |
| 2.1.2 原位反射高能电子衍射系统 | 第34-36页 |
| 2.2 隧道结样品结构微加工方法 | 第36-41页 |
| 2.2.1 光刻工艺流程 | 第37-39页 |
| 2.2.2 离子束刻蚀系统 | 第39-40页 |
| 2.2.3 其他辅助微加工设备 | 第40-41页 |
| 2.3 扫描探针显微镜 | 第41-43页 |
| 2.3.1 原子力显微镜 | 第41-42页 |
| 2.3.2 压电力显微镜 | 第42-43页 |
| 2.4 磁性及电学性能测试方法 | 第43-44页 |
| 2.5 其他表征方法 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 第三章 Fe:srTiO_3/Nb:SrTiO_3 PN结的制备及Ⅳ特性研究 | 第47-57页 |
| 3.1 Fe:SrTiO_3/Nb:SrTiO_3 PN结的制备 | 第47-48页 |
| 3.1.1 靶材和衬底的准备 | 第47页 |
| 3.1.2 Fe：SrTiO_3薄膜的制备 | 第47-48页 |
| 3.2 Fe:SrTiO_3/Nb:SrTi_3 PN结的结构表征 | 第48-50页 |
| 3.3 Fe:SrTiO_3/Nb:SrTi_3 PN结的Ⅳ特性测试 | 第50-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 第四章 多铁隧道结的制备、加工与测试 | 第57-91页 |
| 4.1 La_(0.7)Sr_(0.3)Mn_(0.8)Ru_(0.2)O_3靶材的烧制 | 第57-59页 |
| 4.2 超薄BaTiO_3薄膜的制备及其铁电性能测试 | 第59-69页 |
| 4.2.1 SrTiO_3衬底的预处理 | 第60-61页 |
| 4.2.2 超薄BaTiO_3铁电薄膜的制备 | 第61-63页 |
| 4.2.3 超薄BaTiO_3铁电薄膜XRD测试 | 第63-65页 |
| 4.2.4 超薄BaTiO_3铁电薄膜PFM测试 | 第65-67页 |
| 4.2.5 超薄BaTiO_3铁电薄膜畴保持测试 | 第67-69页 |
| 4.3 多铁隧道结制备与测试 | 第69-77页 |
| 4.3.1 La_(0.7)Sr_(0.3)Mn_(0.8)Ru_(0.2)O_3,La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3的制备与测试 | 第69-70页 |
| 4.3.2 La_(0.7)Sr_(0.3)Mn_(0.8)Ru_(0.2)O_3/BaTiO_3/La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3隧道结的制备 | 第70-72页 |
| 4.3.3 隧道结样品的微加工流程 | 第72-74页 |
| 4.3.4 微加工结构的SEM测试 | 第74-76页 |
| 4.3.5 隧道结样品性能测试 | 第76-77页 |
| 4.4 SrTiO_3/BaTiO_3复合夹层对多铁隧道结性能增强的研究 | 第77-88页 |
| 4.4.1 SrTiO_3/BaTiO_3复合夹层隧道结的理论计算 | 第77-79页 |
| 4.4.2 复合夹层多铁隧道结的制备与表征 | 第79-82页 |
| 4.4.3 复合夹层的多铁隧道结性能测试 | 第82-85页 |
| 4.4.4 使用导电原子力显微镜对SrTiO_3的作用进行研究 | 第85-86页 |
| 4.4.5 隧道结样品保持性能测试 | 第86-88页 |
| 4.5 本章小结 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 第五章 总结与展望 | 第91-93页 |
| 攻读硕士期间发表论文列表 | 第93-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
