| 提要 | 第1-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·压电精密驱动器的研究进展 | 第9-16页 |
| ·直动式压电精密驱动器 | 第10-12页 |
| ·步进式压电精密驱动器 | 第12-13页 |
| ·惯性式压电精密驱动器 | 第13-16页 |
| ·压电精密驱动器的主要应用领域 | 第16-18页 |
| ·本文的研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 压电叠堆惯性驱动特性分析 | 第20-32页 |
| ·压电效应与压电材料 | 第20-21页 |
| ·压电叠堆AE0505D16 性能参数和基本特性 | 第21-25页 |
| ·压电叠堆AE0505D16 的性能参数 | 第21-23页 |
| ·压电叠堆AE0505D16 的基本特性 | 第23-25页 |
| ·压电叠堆惯性驱动特性分析 | 第25-31页 |
| ·压电叠堆模型 | 第25-27页 |
| ·压电叠堆惯性驱动仿真模型 | 第27-28页 |
| ·仿真和试验结果分析 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 新型三自由度惯性压电驱动器动力学特性 | 第32-46页 |
| ·惯性压电驱动器运动原理 | 第32-34页 |
| ·新型三自由度惯性压电驱动器工作原理 | 第34-35页 |
| ·新型三自由度惯性压电驱动器的动力学模型 | 第35-39页 |
| ·驱动器水平方向动力学模型 | 第35-37页 |
| ·驱动器垂直方向动力学模型 | 第37-38页 |
| ·驱动器底面摩擦力（矩）模型 | 第38-39页 |
| ·驱动器动力学仿真模型 | 第39-42页 |
| ·状态空间表达式 | 第39-41页 |
| ·动力学仿真模型 | 第41-42页 |
| ·驱动器仿真分析 | 第42-45页 |
| ·驱动器的运动仿真 | 第42页 |
| ·驱动器步长与摩擦系数的关系 | 第42-43页 |
| ·驱动器步长与载荷的关系 | 第43-44页 |
| ·驱动器步长与正压力变化范围的关系 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 新型三自由度惯性压电驱动器的试验研究 | 第46-59页 |
| ·新型三自由度惯性压电驱动器样机 | 第46页 |
| ·驱动器测试系统的组成及测试方法 | 第46-49页 |
| ·驱动器测试系统 | 第46-47页 |
| ·驱动器测试方法 | 第47-49页 |
| ·驱动器性能测试 | 第49-55页 |
| ·驱动器运动情况 | 第49页 |
| ·方波电压信号下时的驱动器性能测试 | 第49-54页 |
| ·驱动器速度及干涉误差分析 | 第54-55页 |
| ·驱动器的结构改进 | 第55-57页 |
| ·驱动器改进方案 | 第55-56页 |
| ·改进后驱动器试验测试 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 基于LABVIEW 虚拟仪器的驱动器闭环控制系统研究 | 第59-69页 |
| ·闭环电控系统的组成 | 第59-61页 |
| ·LabVIEW 虚拟仪器的功能与特点 | 第59页 |
| ·闭环电控系统的硬件组成 | 第59-61页 |
| ·闭环电控系统的工作原理 | 第61页 |
| ·数据的采集 | 第61-63页 |
| ·驱动器平移/旋转干涉误差闭环控制系统 | 第63-67页 |
| ·驱动器平移/旋转干涉误差闭环控制原理 | 第63-65页 |
| ·驱动器平移/旋转干涉误差闭环控制系统的编译 | 第65-67页 |
| ·驱动器平移/旋转干涉误差闭环控制系统试验分析 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第6 章 结论与展望 | 第69-72页 |
| ·论文结论 | 第69-70页 |
| ·研究展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 摘要 | 第75-78页 |
| ABSTRACT | 第78-81页 |
| 致谢 | 第81页 |